工作原理
气浮式三坐标测量仪564CNC基于气浮导轨技术和空间坐标测量原理。其核心部件——气浮导轨,通过向导轨与运动部件之间持续供应高压气体,形成一层极薄的气膜,使运动部件悬浮在气膜上,实现了近乎无摩擦的运动。测量时,X、Y、Z三个轴向的运动部件在气浮导轨上精确移动,测量探针接触被测工件表面产生微小位移。高精度光栅尺实时捕捉各轴的位移变化,将信号传输给控制系统。控制系统依据预设程序和算法,结合位移数据,精准计算出探针在三维空间中的坐标,从而构建出工件的几何形状和尺寸信息。
应用范围
广泛应用于航空航天领域,对飞机发动机叶片、机翼零部件等高精度工件进行测量,保障飞行安全;在汽车制造行业,可对发动机缸体、变速器壳体等复杂零部件进行尺寸和形位公差检测,确保零部件的装配精度;电子制造中,对精密电子元件、半导体芯片等进行尺寸测量和缺陷检测,提高产品质量;模具制造时,能快速测量模具的型腔、型芯尺寸,缩短模具制造周期。
产品技术参数
测量范围为X轴500mm、Y轴600mm、Z轴400mm,满足中小型高精度工件的测量需求。测量精度高达(1.5 + L/400)μm(L为测量长度,单位:mm),重复性精度小于0.6μm,最大驱动速度为400mm/s,加速度为700mm/s²。
产品特点
气浮导轨技术使运动部件摩擦极小,运动平稳,有效提高了测量精度和稳定性。具备高精度、高速度的测量能力,能在短时间内完成复杂工件的测量任务。操作简便,配备直观的软件界面,测量人员经简单培训即可上手。同时,仪器具有良好的环境适应性,能在不同温度、湿度条件下稳定工作。