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超级结深沟槽外延填充参数的计算方法

862   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:47
本发明公开了一种超级结深沟槽外延填充参数的计算方法，对不同产品通过其基础参数计算深沟槽需要填充的总容积，在相同外延填充时间条件下收集其化学机械研磨终点检知时间数据，通过大数据分析得到深沟槽体积与EPD的线性关系，根据线性关系及外延过填程度和EPD的关系再进行理论推导，可以快速高效地推算出不同产品需要的理论外延填充时间，不再需要进行FA SEM切片或做外延填充时间拉偏实验来确认填充程度，不仅节省大量测试环节时间，而且提高了外延工艺精准度。
声明：
“超级结深沟槽外延填充参数的计算方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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