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无掩膜版的图案化薄膜及其制备方法和应用

1009   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:45
本发明公开了一种无掩膜版的图案化薄膜及其制备方法和应用。本发明采用激光直写，待镀基底位于镀膜材料的上方或待镀基底位于镀膜材料的下方，激光聚焦在镀膜材料上制备得到无掩膜版的图案化薄膜。当待镀基底为玻璃，镀膜材料为具有抑菌能力的金属材料时，图案化镀膜可以作为透明导电杀菌玻璃，应用于杀菌领域。当待镀基底为玻璃，镀膜材料为金属材料时，制备得到的图案化镀膜可以与带有微流道的PDMS片基组成恒温扩增微流控芯片，应用于分析化学、生命健康、医学研究、环境检测等众多领域的微流控检测。本发明的方法不使用掩膜版，简单实用，成本低廉，并且可以简单的做到各种尺寸和材质基底的图案化镀膜，应用范围及其广泛。
声明：
“无掩膜版的图案化薄膜及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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