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气体配制系统及其气体配制方法

817   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:29:12
本发明涉及一种气体混合配制系统,特别涉及一种用于化学气相沉积法生长碳纳米管的气体配制系统。本发明所提供的气体配制系统包括多个气体源,其可分别提供不同气体;多个气体流量计,其分别通过导气管与各气体源相连,以控制各气体的流量;一气体混合腔,通过导气管与该多个气体流量计相连通;以及一气体分析仪,通过导气管与气体混合腔相连,其可测得气体混合腔内混合气体各组分的浓度;其中,各气体源提供的气体经由导气管,通过气体流量计进入混合腔混合均匀,再通过气体分析仪检测混合腔内混合气体的组分浓度,调节气体流量计,可将混合气体的组分浓度控制在预定范围内。另外,本发明还提供采用上述气体配制装置的气体配制方法。
声明：
“气体配制系统及其气体配制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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