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真空镀膜设备的真空度量测装置

695   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:48
本发明有关于一种真空镀膜设备的真空度量测装置，包含有一真空计及一开关阀，开关阀安装于真空镀膜设备的一真空腔体且与真空计连接在一起，当开关阀开启时，真空腔体与真空计之间相互连通，使真空计能藉由量测气体的物理性质而换算出真空腔体内的真空度，当开关阀关闭时，真空腔体内与真空计之间互不相通，使真空计能够减少接触到化学腐蚀气体的机会，以达到延长维修周期及使用寿命的目的，同时便于维修操作。
声明：
“真空镀膜设备的真空度量测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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