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基于硫化钽薄膜的测辐射热计及其制备方法和用途

604   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:28:47
本发明提供了一种基于硫化钽薄膜的测辐射热计及其制备方法和用途，所述测辐射热计包括硫化钽薄膜、支撑电极和读出电路，其中硫化钽薄膜悬空放置于支撑电极上，支撑电极与读出电路连接。本发明中所述硫化钽薄膜通过低压化学气相沉积方法在基底上生长并通过湿法转移去掉基底成为悬空薄膜；所述硫化钽薄膜位于支撑电极之上，吸收热辐射使自身温度发生改变，所述硫化钽薄膜作为热敏材料具备极高的电阻温度系数，可在读出电路中测出电路的阻值变化，从而可用于红外探测、红外成像、热成像等。
声明：
“基于硫化钽薄膜的测辐射热计及其制备方法和用途” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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