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消除极化效应的金刚石中子探测器的制备方法

883   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:50
本发明公开一种消除极化效应的金刚石中子探测器的制备方法，包含以下步骤：将金刚石体材料进行化学清洗和等离子表面处理；在金刚石体材料正表面生长氮化硅钝化层；利用高真空设备在金刚石正表面和背表面分别制备欧姆接触电极和极化电极，背面极化电极必须在金刚石背面的正中心位置；在金刚石正表面的欧姆接触电极和极化电极之间是氮化硅钝化隔离层；将极化电极接到直流小电压电源的两端；将欧姆接触电极接到高压电源两端。本发明制备的消除极化效应的金刚石中子探测器的制备方法，具有高的电荷收集效率、中子探测效率和计数率等优点，在高能量粒子探测、散裂中子源、核反应堆等场合的快中子探测中具有重要的应用价值。
声明：
“消除极化效应的金刚石中子探测器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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