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钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法

1022   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:49
本发明属于半导体器件制备领域，特别是涉及一种钽酸锂热释电红外探测器及其制造方法。本发明采用具有四边固支基板的悬膜结构，在悬膜与支撑基板之间引入绝缘隔热材料，降低探测器的热导，提升探测率。同时，在绝缘隔热材料上制备了通孔，通过在通孔中填充导电材料实现电极与支撑基板的导通，在保证满足导电性的同时，对探测器热导的影响很小。本发明采用两步法减薄钽酸锂晶片，首先利用减薄效率高的机械研磨抛光减薄或离子束刻蚀减薄技术，使钽酸锂晶片接近目标厚度值，然后再利用化学腐蚀减薄去除前一步减薄的损伤层，并达到最终的目标厚度值。采用两步法减薄，既具有快速的减薄特点，同时又避免了钽酸锂晶片存在损伤层的问题。
声明：
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