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基于双模光波导的干涉仪和传感器以及感测方法

948   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:27:46
本发明公开了一种基于双模光波导的干涉仪和传感器以及感测方法。平面光波导干涉仪(15,25,35,45),包括:衬底(8,28,38,48);包括沉积在所述衬底(8,28,38,48)上的至少一个层(1,2,3)的双模波导(10,20,20’,30,40),所述双模波导(10,20,20’,30,40)被设计为支持零阶和一阶横向传播模式,所述横向传播模式具有不同的色散;位于所述双模波导(10,20,20’,30,40)的上侧的特定区域中的传感器片(21,31,41,51),所述传感器片(21,31,41,51)被设计用于接收化学、生物或物理输入刺激物,所述刺激物能够改变所述双模波导(10,20,20’,30,40)的有效折射率。所述双模波导(10,20,20’,30,40)包括被设计用于在侧向限制光的限制装置(9),从而双模波导(10,20,20’,30,40)被设计用于支持一个侧向模式。提供了包括平面光波导干涉仪的芯片、传感器和感测方法。
声明：
“基于双模光波导的干涉仪和传感器以及感测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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