本实用新型提供一种外加式流量量测装置、混合设备及清洗机,所述外加式流量量测装置包括量测桶,以及第一阀组和第二三通分流阀;所述混合设备包括一个混液槽、至少两个输送泵,以及与输送泵的入口、出口连通的上述外加式流量量测装置。还提供一种清洗机,包括至少一个主机台,以及上述的混合设备,所述混合设备将混合液输送至主机台的生产腔室内。通过设置多组三通阀和开关阀将输送泵中的出液量导入量测桶中,能够避免化学品输送拆管量测接触到化学品,提高人员安全、降低成本和提高品质良率;因增加水路在输送泵前,在更换输送泵时可以对输送泵进行清洗,提高更换人员安全。
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