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用于异丙醇室温快速检测的高灵敏纳米硅基气体传感元件及其制备方法

936   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:20:07
本发明公开一种用于异丙醇室温快速检测的高灵敏纳米硅基气体传感元件及其制备方法，采用双重金属辅助化学刻蚀工艺，对硅纳米线表面进行粗糙化处理并有效降低硅纳米线的阵列密度，实现气敏响应的微结构改性；再经微结构改性的硅纳米线表面均匀包覆超薄醌型聚吡咯薄膜，形成有机‑无机核壳复合结构，实现气敏响应的有机异质改性。本发明形成醌型聚吡咯‑硅纳米线的有机‑无机特殊异质结接触结构，实现对纳米硅敏感元的有效有机异质改性。通过对硅纳米线敏感元的双重改性处理，实现传感器件对异丙醇气体的室温高灵敏响应。
声明：
“用于异丙醇室温快速检测的高灵敏纳米硅基气体传感元件及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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