本发明公开了一种植入式神经信息双模检测微电极阵列
芯片及制备方法,涉及传感器技术。该芯片包括硅针基底、呈阵列排布的多个微电极、对电极、
电化学参比电极、电生理参比电极、引线、焊盘以及绝缘层。芯片采用微机电系统(MEMS)工艺加工制备。硅针前端部分可植入动物体内的神经组织,用于同时检测神经电生理信号和神经递质电化学信号,并兼有对神经组织施加电刺激的功能。本发明芯片功能集成化,适合急性或长期植入动物体内,开展神经信息的原位、同步双模检测及相关研究。
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