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管状缺陷的检测方式

790   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:11:27
一种管状缺陷的检测方式,首先提供一样本,该样本包含有一硅衬底、多个电路元件设于该衬底上、一介电层覆盖于该多个电路元件及该衬底上,以及一多晶硅层覆盖于该介电层上,并经由多个设于该介电层内的接触孔电连接到各该电路元件,接着对该样本进行一化学机械抛光工艺,以去除该介电层上的该多晶硅层以及部份该介电层,再进行一湿蚀刻工艺,以部分去除该介电层,最后利用一紫外光来观测该样本,以判别该样本的该介电层中是否具有该管状缺陷。
声明：
“管状缺陷的检测方式” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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