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晶圆断键强度的检测方法

865   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:11:27
一种晶圆断键强度的检测方法，检测方法包括：提供第一晶圆；对所述第一晶圆表面进行断键处理，使所述第一晶圆表面具有第一基团；在第一晶圆表面加入捕捉剂，使第一晶圆表面的第一基团和捕捉剂反应形成反应产物；对所述反应产物进行检测，得到所述反应产物的化学发射强度；根据所述化学发射强度，获取反应产物内的第一基团浓度。所述检测方法，操作简单，灵敏度较高，能够较快得到第一晶圆表面断键的强度情况。
声明：
“晶圆断键强度的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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