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晶圆夹盘倾斜度的检测方法

892   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:08:36
本发明揭示了一种利用现有的电化学抛光设备对晶圆夹盘的倾斜度进行检测的晶圆夹盘倾斜度的检测方法，包括如下步骤：分别测量晶圆中心点(O点)以及晶圆上其他两点(A点与B点)与喷头喷射出的抛光液的液面之间的高度值Ho，Ha，Hb，其中该其他两点(A点和B点)的连线不经过晶圆中心点(O点)；计算Ha与Ho之间的差值，以及Hb与Ho之间的差值；结合A点与O点之间的水平距离La以及B点与O点之间的水平距离Lb，计算晶圆上A点与O点所在的直线与水平面之间的倾斜度为arctan((Ha-Ho)/La)，B点与O点所在的直线与水平面之间的倾斜度为arctan((Hb-Ho)/Lb)。
声明：
“晶圆夹盘倾斜度的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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