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化学机械研磨系统及其方法

854   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:21
一种用于化学机械研磨装置的系统及其方法。本揭露的一些实施方式说明一种从多层研磨垫移除可消耗的(例如，牺牲的)研磨垫层的方法及其装置。此方法包括测量多层研磨垫的顶研磨垫层的厚度轮廓，并比较厚度轮廓与阈值。此方法响应于厚度轮廓高于阈值，清洗多层研磨垫的顶研磨垫层，并在顶研磨垫层被清洗之后，移除顶研磨垫层以暴露多层研磨垫的下面的研磨垫层。
声明：
“化学机械研磨系统及其方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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