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氮氧电化学气体传感器芯片

1021   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:30
本发明公开一种氮氧电化学气体传感器芯片，其整体为片状包括第一氧化锆固体电解质层、第二氧化锆固体电解质层、第三氧化锆固体电解质层、第四氧化锆固体电解质层、第五氧化锆固体电解质层、第六氧化锆固体电解质层、扩散障一、第一外电极、第一内电极、第一测试腔、第二测试腔、扩散障二、第二内电极、第三内电极、第二外电极、填充有多孔陶瓷一的空气参比腔以及加热电极。本发明解决了普通氮氧传感器陶瓷芯片大多有四个通孔，三个扩散障，结构非常复杂，生产加工难度大，不良率高，实际使用时通孔过多的部位易发生应力集中，而使芯片开裂的问题，节约了成本。
声明：
“氮氧电化学气体传感器芯片” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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