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用于化学机械研磨机台的固定环

1098   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:27
本发明公开了一种用于化学机械研磨机台的固定环，包括环体和安装在所述环体上的信号探测单元，所述信号探测单元连接到机台控制端。当环体磨损到固定环寿命终止位置或环体发生破裂时，环体上安装的信号探测单元探测到信号变化，并发送信号给机台控制端，机台控制端报警提醒工程师更换固定环。所述信号探测单元包括电信号、气压、湿度、氧气和浮力探测器中的一种或其组合。本发明通过安装在环体上的信号探测单元监测固定环的使用寿命状况，使工程师及时对已经磨损到固定环寿命终止位置或发生破裂的固定环进行更换，防止因固定环的厚度异常或环体发生破裂造成的潜在风险和经济损失。
声明：
“用于化学机械研磨机台的固定环” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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