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实时检测非球面的全息干涉装置

1056   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:26
本发明属于光学波面面形检测领域中实时检测非球面面形的一种全息干涉装置,由平面镜17,分束器3、光源1、扩束器2、分束器3、参考平面镜4、零位补偿器5,计算全息图6、成象透镜7、空间滤波器8、面阵探测器9、偏振分束器10、成象系统11、显示器12、计算机13、起偏镜15和16、面阵探测器18构成。本发明要解决的问题是可分别用于粗加工和精加工阶段的检测。避免繁琐的化学显影处理及由此产生的随机检测误差。本发明功能齐全、检测量程大、使用范围广、使用简便、制造容易、检测精度高、干涉图易于分析和处理等优点。
声明：
“实时检测非球面的全息干涉装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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