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镍合金的绿色环保化学机械抛光方法

619   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:02:26
本发明提供了一种镍合金的绿色环保化学机械抛光方法，属于超精密加工技术领域。先对镍合金进行研磨，然后进行粗抛光和精抛光。粗抛光时，抛光磨粒为α‑氧化铝，平均粒径为3‑5μm，抛光液为去离子水，抛光垫为聚氨酯。精抛光时，陶瓷磨粒为氧化硅、α‑氧化铝、氧化铈、氧化镁，平均粒径为20‑60nm，重量百分比为0.5％‑3％；络合剂为亚氨基二琥珀酸钠盐、柠檬酸钠，重量百分比为0.5‑2％；pH调节剂为酒石酸、醋酸，重量百分比为0.5‑2％，调节抛光液pH为3‑5；抛光垫为磨砂革。抛光后镍合金的测量范围为50×70μm2，表面粗糙度Ra达到0.4‑0.7nm，实现了镍的超光滑超低损伤化学机械抛光。
声明：
“镍合金的绿色环保化学机械抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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