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热场发射环境真空扫描电子显微镜

热场发射环境真空扫描电子显微镜

240
规格/型号:Quattro C/S
品牌:赛默飞
应用领域:分析检测
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海爱仪通网络科技有限公司
咨询电话::17821227265(请说明信息源自“中冶有色网”)
更新时间:2025-08-11
级别:待认证

热场发射环境真空扫描电子显微镜说明介绍

赛默飞


工作原理

Quattro C/S采用热场发射电子源(Schottky发射),通过静电透镜聚焦电子束,扫描样品表面并激发二次电子/背散射电子。环境真空模式(气压50Pa~130Pa)可消除非导电样品电荷积累,避免传统高真空需镀膜的步骤。设备搭载赛默飞专利的“多模式探测器”与“智能束流控制技术”,实现纳米级分辨率(≤1nm)与宽加速电压范围(200V~30kV),符合ISO 15708与ASTM E1508标准。



应用范围

该仪器适用于材料科学(纳米材料形貌表征、金属腐蚀界面观察)、生命科学(细胞超微结构成像、生物材料表面修饰验证)、工业检测(电子元器件失效分析、涂层均匀性检测)及半导体工业(芯片缺陷定位、光刻胶边缘轮廓测量)等领域。其环境真空模式可直接观察非导电样品(如陶瓷、聚合物),是微观成像与成分分析的核心工具。



产品技术参数


加速电压:200V~30kV(连续可调)

分辨率:≤1nm(30kV,SE模式),≤2nm(1kV,低真空模式)

放大倍数:10×~1,000,000×(连续可调)

真空模式:高真空(<6×10⁻⁴Pa)、低真空(50Pa~130Pa)

样品室:最大样品尺寸φ150mm(厚度≤50mm),支持多角度倾斜(0°~90°)

探测器:In-Lens SE探测器、背散射电子探测器(BSD)、EDS/WDS联用接口

软件平台:FEI Velocity™(支持自动对焦、三维重建、EDS成分映射)

数据接口:千兆以太网、USB 3.0

电源:AC 200-240V(50/60Hz,功率≤3kW)

尺寸:2000mm×1500mm×1800mm(重量≤2000kg)


产品特点


热场发射源,高亮度与稳定性:Schottky发射体提供稳定束流(≤1nA/cm²),长期使用分辨率无衰减;

环境真空模式,无镀膜成像:支持非导电样品(如陶瓷、生物样本)直接观察,消除传统镀膜干扰;

多模式探测与联用能力:集成SE/BSD探测器,支持EDS(能量色散X射线谱)、WDS(波长色散X射线谱)联用分析;

智能化软件平台:FEI Velocity™软件支持自动对焦、三维渲染、成分映射与定量报告生成;

大样品容量与灵活性:最大150mm直径样品台,支持多角度倾斜与原位拉伸/加热附件;

安全防护设计:辐射防护罩、紧急停止、真空泄漏保护,符合实验室安全规范;

合规认证:通过CE认证,符合ISO 15708、ASTM E1508标准。

Quattro C/S提供一年整机质保与电子源校准服务,其精准、灵活、多功能的特性,成为扫描电子显微分析领域的高端解决方案,助力用户实现从基础研究到工业质量控制的全流程需求。

         
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