合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学气相沉积设备的温度控制方法

化学气相沉积设备的温度控制方法

593   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:14
需要一种能够区分衬托器表面和晶片表面之间的温度差异并且通过反映所述温度差异控制温度的方法。为了实现此目的，本发明提供一种化学气相沉积设备的温度控制方法，该化学气相沉积设备包括：腔室；衬托器，位于所述腔室的内侧以在所述腔室中转动，其中晶片层叠在衬托器上侧；设置在所述腔室内并且向所述晶片喷射气体的气体供应单元；设置在所述衬托器内并且加热所述晶片的加热器；以及位于所述腔室中并且测量温度的温度传感器。所述温度控制方法包括步骤：(a)基于所述温度传感器的测量值计算所述衬托器的温度分布，并且，将所述温度分布的相对高温段划分为衬托器段，将所述温度分布的相对低温段划分为晶片段；以及(b)通过将预设参考温度与在所述衬托器段或所述晶片段的选定位置的温度进行比较来控制加热器。
声明：
“化学气相沉积设备的温度控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：化学机械抛光的方法
下一个：具有低挥发性有机化学品排放的二氧化硅填充橡胶中的氨基烷氧基改性硅倍半氧烷

与 “化学气相沉积设备的温度控制方法” 相关技术

▪ 二连炉连续炼铜工艺技术
▪ 双炉粗铜连续吹炼工艺技术
▪ BOXA矿浆在线品位分析系统
▪ 红土镍矿制备镍基新材料
▪ 转盘式芯片分选机顶针机构
▪ 带风机废热回收的空调系统及其控制方法
▪ 前弯叶轮、离心风机和空调器
▪ 超微粉碎机及齿圈
▪ 适用于芯片测试分选机的锁扣夹紧装置
▪ 用于海上风机维护的起重装置

相关化学分析设备推荐

碳排放分析仪
QBF-TY-800M-B型 土壤养分测试仪
便携式多气体检测仪
土壤水分检测仪器
无线土壤墒情监测系统
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪二连炉连续炼铜工艺技术
▪双炉粗铜连续吹炼工艺技术
▪BOXA矿浆在线品位分析系统
▪红土镍矿制备镍基新材料
▪转盘式芯片分选机顶针机构
▪带风机废热回收的空调系统及其控制方法
▪前弯叶轮、离心风机和空调器
▪超微粉碎机及齿圈
▪适用于芯片测试分选机的锁扣夹紧装置
▪用于海上风机维护的起重装置

报名参会
更多+

2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
第十一届中国铝工业科学技术发展大会
2024年08月13日 ~ 15日
富矿精开科技创新研讨会
富矿精开科技创新研讨会
2024年08月14日 ~ 16日
2024中国铅锌产业科技大会
2024中国铅锌产业科技大会
2024年09月19日 ~ 21日
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024全国高温合金材料制备与应用技术交流会
2024年09月20日 ~ 22日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:53
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:45
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:42
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:38
6 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:34
7 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
8 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:33
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记