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化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置

574   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:14
本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，提供一种化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置，包括炉体、第一保护壳和第二保护壳，炉体的外部设置有第一保护壳，第一保护壳的外部设置有拆装结构，第一保护壳的顶端设置有出气管，第一保护壳的底端设置有第二保护壳，第二保护壳的底端设置有抽气管，第二保护壳底端的中间位置处设置有注气管，第一保护壳与第二保护壳的内部设置有防护结构。本实用新型通过设置有拆装结构，将锁紧螺栓从通孔内部拆下，然后分离对接槽与对接块之间的卡合，便可完成对于第一保护壳和第二保护壳的拆卸，对第一保护壳和第二保护壳的便捷拆下，方便了工作人员对于炉体的检修。
声明：
“化学气相沉积炉漏气快速处理辅助装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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