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高温金属有机化学气相淀积反应器

966   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:01:14
本发明公开了一种高温金属有机化学气相淀积反应器,包括壳体、反应室、送样室、真空装置、尾气处理装置以及操作控制装置,其特征在于:所述反应室为上底面小于下底面的锥桶形结构,包括多边形锥台式衬底托及套于衬底托外侧的内罩,所述内罩的倾角大于衬底托倾角3°～5°,形成反应气体通道,反应气体自下经气体通道由反应室顶部的出气口排出;沿衬底托的外缘斜面布置有复数个衬底铺设位,所述内罩上设有与监测点配合的光学窗口,供操作控制装置实时监控。本发明通过锥桶形结构的反应室,使送气方向与浮热方向基本一致,减少涡流产生,防止预反应的发生,提高了外延材料的质量和均匀性。
声明：
“高温金属有机化学气相淀积反应器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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