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化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物以及抗蚀图案的形成方法

678   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:53
一种化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物,是在一个基板上形成集成电路和液晶显示部分的基板制造用的化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物,其特征是:含有(A)树脂成分、(C)通过放射线的照射而产生酸成分的化合物、和有机溶剂,具有通过由所述(C)成分所产生的酸成分的作用而在碱水溶液中的溶解性增大的性质,该光致抗蚀剂组合物中所含的固体成分的、通过凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)在3000～100000的范围内。根据本发明可提供满足对于在1个基板上形成集成电路和液晶显示部分的系统LCD的制造用所要求的耐热性、分辨力、线性、和DOF特性,同时具有良好的感度的光致抗蚀剂组合物及抗蚀图案的形成方法。
声明：
“化学增幅型正型光致抗蚀剂组合物以及抗蚀图案的形成方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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