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汽相沉积系统

954   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:53
本发明涉及一种汽相沉积系统，具体地，涉及一种化学束薄膜沉积设备及薄膜沉积的方法。本发明提供了一种用于对多种种类进行真空沉积的喷嘴，所述喷嘴被分成多个四分部，每个四分部包含至少一个用于所述种类的出口，所述四分部中的每一个定义位于下方的隔间的壁，该隔间包含至少一个种类，其中两个相邻的隔间包含不同种类。
声明：
“汽相沉积系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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