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用于供给化学溶液的系统与方法

640   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:51
本发明实施例涉及用于供给化学溶液的系统与方法。一种系统包含化学品存储槽、管线、泵、第一静电探针及控制单元。所述管线连接到所述化学品存储槽。所述泵连接到所述管线且经配置以将化学溶液从所述化学品存储槽泵送到所述管线中。所述第一静电探针耦合到所述泵且经配置以测量所述泵的静电电压。所述控制单元耦合到所述第一静电探针且经配置以从所述第一静电探针获得静电电压的测量。
声明：
“用于供给化学溶液的系统与方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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