本发明涉及一种高通量湿法化学组合材料
芯片制备装置以及制备方法,包括温控箱,温控箱内设有支撑架,支撑架上设有废液池,废液池的竖直上方设有反应池,反应池的底部设有池底排液口,池底排液口处设有排液速度控制器,反应池的竖直上方设有溶液池,溶液池的底部设有加液口,加液口处设有加液速度控制器,反应池的竖直上方设有垂直提升器,垂直提升器通过提升线固定连接有夹具,还包括检测装置。本发明可用于包含
稀土元素等在大气环境下不稳定、其氧化物又不宜制成靶材的材料的高通量组合材料芯片的制备;反应过程温度较低,通过控制反应溶液温度进一步降低基底温度,防止制备过程中基底温度过高生成中间化合物,阻止扩散的进一步进行。
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