本实用新型公开了一种化学气相淀积材料生长设备的取样装置,包括基座和箱体,所述基座的底部四角处均固接有自锁万向轮,所述箱体位于基座的上方,且箱体和基座之间固接有两个支撑杆,从而使得生长设备内的气体进入到箱体内,使得气体推动第二活塞,从而使得第二活塞在取样筒移动,从而使得气体进入到取样筒内,接着气体进入到检测设备上进行检测,且取样筒有四个,从而解决了现有的取样筒只有一个,从而造成最终的检测数据不具有代表性,从而使得不够准确,同时在第一活塞和第二活塞的作用下,排掉箱体和取样筒内的空气,从而防止空气与气体混合在一起,使得最终的检测数据不够准确。
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