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半导体清洗设备化学药液加热器

822   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:57:48
本实用新型公开一种半导体清洗设备化学药液加热器，包括由内层管和外层管组成的加热管，安装在内层管中的加热丝，用于密封加热管的密封塞，以及穿过密封塞与加热丝相连的电源线，还包括控制器电源、控制器、报警器以及用于检测加热管是否破裂的传感器，所述报警器、传感器、控制器电源均与控制器相连。本实用新型能够实时监测加热管是否破损，从而及时将加热管从化学药液池中取出，进而保护化学药液和清洗设备。
声明：
“半导体清洗设备化学药液加热器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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