合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 去除速率和平坦化改善的化学机械抛光垫

去除速率和平坦化改善的化学机械抛光垫

955   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:56:02
本发明提供一种用于抛光三维半导体或存储器衬底的化学机械(CMP)抛光垫，所述抛光垫包含热固性反应混合物的聚氨酯反应产物的抛光层，所述热固性反应混合物具有固化剂4，4′‑亚甲基双(3‑氯‑2，6‑二乙基苯胺)(MCDEA)或MCDEA与4，4′‑亚甲基‑双‑邻‑(2‑氯苯胺)(MbOCA)的混合物，和聚异氰酸酯预聚物，所述预聚物由以下形成且具有8.6至11wt.％的未反应异氰酸酯(NCO)浓度：一种或两种芳香族二异氰酸酯，如甲苯二异氰酸酯(TDI)，或芳香族二异氰酸酯与脂环族二异氰酸酯的混合物，和聚四亚甲基醚二醇(PTMEG)、聚丙二醇(PPG)的多元醇，或PTMEG与PPG的多元醇掺合物。所述抛光层中的所述聚氨酯根据ASTM D2240‑15(2015)具有50至90的肖氏D硬度、在65℃具有70至500MPa的剪切存储模量(G′)，且在50℃具有0.06至0.13的阻尼分量(G″/G′，通过剪切动态力学分析(DMA)所测量，ASTM D5279‑08(2008))。
声明：
“去除速率和平坦化改善的化学机械抛光垫” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：用于监测水渍状缺陷的检测晶圆及检测方法
下一个：基于化学成分的黑茶产地的鉴别方法

与 “去除速率和平坦化改善的化学机械抛光垫” 相关技术

▪ 南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪ 上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪ 大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪ 中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪ 西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪ 转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪ 重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪ 将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪ 有色金属压延加工技术
▪ 铜冶炼渣的选矿技术和难点

相关化学分析设备推荐

全谱直读光谱仪
瑞牛GA3000沼气分析仪批发现货
BRESLE盐份测试套装/盐分仪-P2004(新型号P2005)
泵吸式多气体检测仪
FOG II数字式土壤碳酸钙测量仪 土壤测试仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪有色金属压延加工技术
▪铜冶炼渣的选矿技术和难点

报名参会
更多+

2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记