合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> 化学机械抛光装置及化学机械抛光的方法

化学机械抛光装置及化学机械抛光的方法

803   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:29
一种化学机械抛光装置及化学机械抛光的方法，其中，化学机械抛光装置包括：基座；固定于基座表面的研磨垫，研磨垫内具有检测窗，检测窗表面与研磨垫表面齐平，检测窗为透光材料；位于基座内的光头，光头位于检测窗下方，且光头与检测窗之间为空腔；固定于基座内的位置调节装置，位置调节装置与光头连接；位于研磨垫上方的检测装置，检测装置位于研磨垫上方，检测装置到研磨垫中心的水平距离、与第一检测装置到研磨垫中心的水平距离一致；分别与位置调节装置和第一检测装置连接的控制器，控制器根据检测装置检测的研磨垫减薄的厚度，控制光头下降相同距离。所述化学机械抛光装置光学终点检测精确。
声明：
“化学机械抛光装置及化学机械抛光的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：快速判定化学恐怖袭击毒物中化学战剂毒性大小的方法
下一个：用于处理废料、特别是来自医学分析实验室的废料的设备和方法

与 “化学机械抛光装置及化学机械抛光的方法” 相关技术

▪ 粉末冶金材料、高温轴套及其制备方法
▪ 注射成型用氧化铝复合材料及其制备方法和应用
▪ 具有高导热的氮化铝陶瓷件
▪ 高精度高强度微模数齿轮金属粉末成形工艺
▪ 低密度ITO蒸镀靶材的制备方法
▪ 防静电陶瓷材料的制备方法
▪ 提高铜合金零件致密度的方法
▪ 新型实验电炉用的支架
▪ 新型箱式实验电炉
▪ 铜铝复合带材的制备方法

相关化学分析设备推荐

固定式臭氧检测报警仪 多气体检测仪
柴油水灰硫混合装置 多气体检测仪
斯派克 XEPOS XRF光谱仪
土壤碳通量自动测量系统 土壤监测仪
自动布氏硬度计系统
全国热门有色金属技术推荐
江苏通用技术 北京矿山技术 江苏冶金技术 北京冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术
展开更多 +

 

中冶有色技术平台

最新更新技术

▪粉末冶金材料、高温轴套及其制备方法
▪注射成型用氧化铝复合材料及其制备方法和应用
▪具有高导热的氮化铝陶瓷件
▪高精度高强度微模数齿轮金属粉末成形工艺
▪低密度ITO蒸镀靶材的制备方法
▪防静电陶瓷材料的制备方法
▪提高铜合金零件致密度的方法
▪新型实验电炉用的支架
▪新型箱式实验电炉
▪铜铝复合带材的制备方法

报名参会
更多+

第二届全国工业炉窑及耐火材料产学研合作高峰论坛
第二届全国工业炉窑及耐火材料产学研合作高峰论坛
2025年03月28日 ~ 30日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月28日 ~ 30日
2025全国超硬材料制备与应用技术交流会
2025全国超硬材料制备与应用技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
第三届全国核材料产学研合作高峰论坛
第三届全国核材料产学研合作高峰论坛
2025年04月11日 ~ 13日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:127
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:102
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:95
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:93
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:92
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:89
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:88
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:87
10 制样室装修设计技巧
下载:86
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记