本实用新型提供一种涂胶显影化学品进液设备的监测工具,包括监测壳体、以及设于监测壳体上的连接机构,监测壳体内设置有控制单元和连接控制单元的入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元;控制单元,用于接收和处理入口监测单元、阀门监测单元、液体监测单元以及压力监测单元发送的数据;入口监测单元,用于监测设于监测壳体上气体入口和液体入口开启关闭监测状态;阀门监测单元,用于监测设于监测壳体电磁阀开启闭合状态;液体监测单元,用于监测通过监测壳体的液体流量;压力监测单元,用于监测通过监测壳体内的气体压力;本实用新型可以便捷的对涂胶显影设备机组进行监测,降低了设备联合调试的工作量,提高了设备的生产效率。
声明:
“涂胶显影化学品进液设备的监测工具” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)