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常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置

795   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:11
本实用新型涉及一种常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置。它包括带辊和控制器。所述带辊上套有履带。邻近带辊的履带下方有底座。其特点是：底座上有轮座，轮座上有从动轮，从动轮的轮面与途径带辊处的履带表面间呈滚动状相配合。所述轮座上有测速传感器，测速传感器通过导线与控制器相连，控制器上连有蜂鸣器。采用这种监测报警装置，可避免因履带停止运行而导致的晶圆报废情况发生。适用于常压式化学气相沉积机履带速度的监测。
声明：
“常压式化学气相沉积机履带速度监测报警装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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