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测温装置及化学气相沉积设备

787   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:49:09
本申请提供一种测温装置及化学气相沉积设备，涉及测温技术领域。测温装置包括水平布置的多级结构及测温元件。多级结构具有沿其轴向可拆卸连接的多级套筒，多级结构沿其轴向具有相对的第一端以及第二端，第一端为封闭端，任意相邻的两级套筒中，靠近第一端的套筒的内径小于靠近第二端的套筒的内径，靠近第一端的套筒的长度小于靠近第二端的套筒的长度；多级结构的轴向长度≥800mm，位于第一端的套筒的壁厚＜3mm，测温元件可拆卸安装于多级结构内，测温元件用于测量第一端的端部的温度。上述多级结构可提高测温装置的抗自重能力，从而当测温装置应用于化学气相沉积设备中进行测温时，可减缓第一端在重力方向的偏移程度，提高测温的精准度。
声明：
“测温装置及化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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