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回转工件电化学超精加工的氧化膜厚度监测方法及实现装置

873   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:33
本发明公开了一种回转工件电化学超精加工的氧化膜厚度监测方法及实现装置，属于电化学机械复合加工技术领域。包括霍尔电流传感器、机床主轴、伸缩气缸、声发射传感器、超精油石、引电盘、石墨块、安装板、螺钉、回转工件、压块、芯轴、涡卷弹簧、大理石转台、多孔质阴极、脉冲电源，其特点在于通过将电化学加工采样的电流信号、超精油石研磨提取的声发射均方根值和椭偏仪表征的氧化膜厚度相结合，建立氧化膜厚度动态变化的监测方法，提高回转工件电化学超精加工的可控性和表面完整性；利用多孔质阴极良好的导电、渗透性能和较大的比表面积，调控回转工件表面的电场分布，促进氧化膜均匀覆盖，修正电化学超精加工的宏观轮廓误差。
声明：
“回转工件电化学超精加工的氧化膜厚度监测方法及实现装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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