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化学机械研磨机台用水压探测报警系统及其应用

826   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:47:33
本发明提供一种化学机械研磨机台用水压探测报警系统，包含主体，其包括承载和清洗晶圆的平台、气动阀、气压管路和多个水压管路；平台具有探测平台上升和/或下降的位置的平台位置传感器；气动阀设置在至少一个水压管路上并同时与气压管路连接；水压管路连接在平台和化学机械研磨机台之间；系统还包含水压传感器、气压传感器和控制器；水压传感器连接在至少一个水压管路上；气压传感器连接至气动阀；控制器用于与水压传感器、气压传感器、平台位置传感器以及化学机械研磨机台通过信号进行连接。本发明还提供一种上述化学机械研磨机台用水压探测报警系统的应用。上述系统及其应用能够有效控制和实时探测喷洗水压的大小，避免异常发生。
声明：
“化学机械研磨机台用水压探测报警系统及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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