本实用新型公开了一种X射线荧光元素分布分析用分析盒,属于X射线分析领域,包括:外壳,其用于盛放圆形分析片和待测样品;圆形分析片,所述的圆形分析片的厚度大于圆形分析片对待测元素最短特征X射线吸收99.9%的厚度,数量为N;所述的圆形分析片上设置有一个通光孔,所述通光孔的直径为d;第i个圆形分析片上通光孔的圆心与距离圆形分析片圆心的距离L
i与样品二维分布分析要求的最小点直径d
0之间符合如下关系:L
i=(i‑1)d
0。本实用新型的X射线荧光元素分布分析用分析盒可以分析样品表面化学成分的二维分布。
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