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化学机械抛光垫的检测窗及其制备方法

1004   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:13
本发明涉及一种化学机械抛光垫的检测窗及其制备方法，技术方案包括将异氰酸根封端的预聚物与固化剂混合均匀固化而成，其中，所述异氰酸根封端的预聚物由以下三种原料混合反应而成，原料A为异氰酸根不与苯环直接相连的异氰酸酯；原料B为分子量为500‑1500的多元醇；原料C为双官能度硫醇化合物，其中原料B和C合计100wt％计，原料C占1‑99wt％。本发明工艺简单，生产成本低，制得的检测窗透光性好、性能稳定、使用寿命长。
声明：
“化学机械抛光垫的检测窗及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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