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基于光谱的化学机械抛光在线终点检测方法

763   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:44:50
本发明公开了基于光谱的化学机械平坦化在线终点检测方法。首先根据被抛薄膜和基底材料的折射率n、消光系数k和目标膜厚d计算出理论光谱曲线，然后选取该曲线的一段波长区域，计算该区域内所有相对反射率极大值点对应的波长值λhi和极大值点对应的波长个数a、相对反射率极小值点对应的波长值λlk和极小值点对应的波长个数b。实时采集抛光过程中的原始光谱数据，得到滤波光谱曲线，选取相同波长区域的滤波光谱曲线区域的对应参数，并计算两组数据之间的差异值。如果该值小于预先设定的阈值，则停止平坦化过程。本发明可以排除检测光强信号变化带来的干扰，不用对检测光谱做归一化处理，减少了运算时间，同时提升信号的检测精度和检测一致性。
声明：
“基于光谱的化学机械抛光在线终点检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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