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具有终点检测窗口的化学机械抛光垫

857   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:38:41
本发明提供了一种化学机械抛光垫，其包括：具有抛光表面的抛光层；以及终点检测窗口；其中所述终点检测窗口包括以下组分的反应产物，所述组分包括：具有2-6.5重量％的未反应的NCO基团的异氰酸酯封端的氨基甲酸酯预聚物以及固化剂体系，所述固化剂体系包括：至少5重量的双官能的固化剂、至少5重量％的胺引发的多元醇固化剂以及25-90重量％的高分子量多元醇固化剂，所述胺引发的多元醇固化剂每个分子具有至少一个氮原子并且每个分子平均具有至少三个羟基；所述高分子量多元醇固化剂的数均分子量MN为2, 000-100, 000，并且每个分子平均具有3-10个羟基。本发明还提供了制备和使用所述化学机械抛光垫的方法。
声明：
“具有终点检测窗口的化学机械抛光垫” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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