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化学机械研磨装置的研磨垫检测方法与研磨垫检测装置

819   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:35:58
本发明提供一种化学机械研磨装置的研磨垫检测方法与研磨垫检测装置，尤指以动态方式进行对研磨垫表面进行检测的方法与装置，利用检测装置以气体隔离出供研磨垫露出的隔离区域进行检测让化学机械研磨装置可在不中断制程的状态下，对研磨垫进行检测，并达到更加精准的检测结果，进而可更加适时的对抛光垫进行整修与更换。
声明：
“化学机械研磨装置的研磨垫检测方法与研磨垫检测装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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