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用于化学分析的新型集成光路结构光谱仪

691   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:35:58
本发明属于光电子技术领域,涉及一种对光栅-光波导结构光谱仪的改进,尤其是涉及对光谱仪中集成光路组件的改进。本发明由光源、聚焦透镜、光谱信号处理系统、硅基片、样品窗口、光波导薄膜、棱镜和光波导衬底组成,本发明用棱镜-光波导结构取代光栅-光波导结构,提高了耦合效率和色散能力;造价低、应用范围大;杂散光干扰少,光谱分辨率高。本发明是一种小型化、集成化、便于携带和高灵敏度的光谱仪。
声明：
“用于化学分析的新型集成光路结构光谱仪” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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