本实用新型涉及一种改进型偏转束流测量系统,该加速腔中心设有中心区偏转板,该中心区偏转板的四周均匀设有磁铁及D型盒,磁铁上连接有剥离靶,中心区偏转板的中心设有测量设备,该测量设备引出一测量线到剥离靶上,该剥离靶经转换盒与PLC控制器连接。与现有技术相比,本实用新型能够在中心区偏转板上检测到注入束流,再对比注入法拉第束流,就可以看出二者的束流比,根据注入束流、偏转束流、效率可以间接判断出离子源的性能,解决了离子源性能检测困难的问题,不需要拆卸离子源到制造工厂进行检测。
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