电子探针X射线显微分析仪,又名微区X射线谱分析仪。可对试样进行微小区域成分分析。除H、He、Li、Be等几个较轻元素外,还有U元素以后 的元素以外都可进行定性和定量分析。电子探针的大批量是利用经过加速和聚焦的极窄的电子束为探针,激发试样中某一微小区域,使其发出特征X射线,测定该X射线的波长和强度,即可对该微区的元素作定性或定量分析。。可以进行点、线扫描(得到成分分布信息)、面扫描(得到成分面分布图像)。相对EDS,检测限更低,有标测试,对于轻元素、微量元素测试精度更高。
样品要求
1. 制样要求
1) 粉末、薄膜、块体均可;
2) 合金或
复合材料等偏析明显的材料不需要腐蚀,部分材料如果没有明显偏析,可轻微腐蚀出晶界后进行测试。
2. 样品要求
3) 粉末样品:表征粉末表面提供20mg样品以上;表征粉末内部需要提前沟通确认;
4) 块体样品:直径≤20mm,高度≤10mm;样品上下表面平行,待测面需打磨并机械抛光,保证样品表面的平整度。
3. 其它要求
1) 如果样品由于要求不喷金(喷碳)而导致效果不好,测试老师不安排复测;
2) 样品性质稳定无毒,电子束轰击时不能挥发、易燃易爆等;
3) 有机高分子材料与强磁粉末不能测试。