权利要求书： 1.一种废水处理系统，用于对晶圆背面减薄装置的研磨废水进行处理，所述晶圆背面减薄装置的内部设有研磨机和排水管(100)，所述研磨机产生的研磨废水通过所述排水管(100)排出，其特征在于，所述废水处理系统包括：管路式粉碎机(200)，所述管路式粉碎机(200)设置在所述排水管(100)上，所述管路式粉碎机(200)用于对所述排水管(100)内的所述研磨废水中的晶渣进行粉碎；以及废水分离箱(300)，所述废水分离箱(300)与所述排水管(100)的排水口连通，所述废水分离箱(300)被配置将所述管路式粉碎机(200)处理后的所述研磨废水进行固液分离，经过所述废水分离箱(300)固液分离后的所述研磨废水收集到排放池(400)内。
2.根据权利要求1所述的废水处理系统，其特征在于，所述废水分离箱(300)包括箱体(310)和过滤网(320)，所述过滤网(320)设置在所述箱体(310)内，所述箱体(310)上设有进液口(330)和出液口(340)，所述进液口(330)设置在所述过滤网(320)的上方，所述进液口(330)与所述排水管(100)的排水口连通，所述出液口(340)设置在所述过滤网(320)的下方，所述出液口(340)与所述排放池(400)连通。
3.根据权利要求2所述的废水处理系统，其特征在于，所述过滤网(320)设置为“凹”字形结构，所述过滤网(320)包括第一横网板(321)、竖网板(322)和第二横网板(323)，所述第一横网板(321)、所述竖网板(322)、所述第二横网板(323)、所述竖网板(322)、所述第一横网板(321)依次连接，所述第一横网板(321)与所述箱体(310)的侧壁连接。
4.根据权利要求3所述的废水处理系统，其特征在于，所述第一横网板(321)的截面面积大于所述进液口(330)的截面面积。
5.根据权利要求2所述的废水处理系统，其特征在于，所述废水处理系统包括第一管路，所述第一管路的一端连通所述排水管(100)的排水口，所述第一管路的另一端连通所述废水分离箱(300)的所述进液口(330)。
6.根据权利要求5所述的废水处理系统，其特征在于，所述废水处理系统包括第二管路，所述第二管路的一端连通所述废水分离箱(300)的所述出液口(340)，所述第二管路
声明：
“废水处理系统及晶圆背面减薄装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色网
来源：宁波芯丰精密科技有限公司
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2025年05月23日 ~ 25日 
