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湖北武汉有色金属化学分析技术理论与应用

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基于化学发光法氮氧化物自动检测仪

本实用新型提供一种基于化学发光法氮氧化物自动检测仪,涉及空气检测仪技术领域,包括检测箱体和检测装置,检测箱体正面中心位置固定设有操作面板,检测箱体正面靠近操作箱体顶面和底面处对称开设有直线滑槽,操作面板一侧设有防尘装置,防尘装置包括收卷盖板和收卷轴,收卷轴为U型轴,且收卷轴两端与检测箱体正面固定,收卷盖板一端与收卷轴表面缠绕固定,收卷盖板另一端背面两侧固定设有卡块,操作面板远离收卷轴的一侧开设有限位槽,采用防尘装置通过收卷盖板沿收卷轴表面拉伸,通过卡块与限位槽卡合,进行操作面板表面的接触性遮盖,对操作面板表面在不使用的状态下进行保护,防止灰尘的吸附和表面误撞的刮花,对操作面板进行保护。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于微生物电化学法快速检测BOD的方法

本发明公开了一种基于微生物电化学法快速检测BOD的方法,包括以下步骤:构建MEC反应器、该MEC反应器中在所述阳极和阴极之间设有孔隙小于1μm的隔膜,之后基于构建的MEC反应器依次获取标准曲线和检测废水的BOD值。本发明通过对所构建的MEC反应器中设置了能够有效的阻挡微生物向阴极迁移的隔膜,以减少对阴极电极的污染,从而获得了灵敏度高、系统稳定和检测时间段的BOD测试传感器,可以用于在线或离线测定污水中的BOD值,大大提高了监测水平。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测人附睾分泌蛋白4的化学发光试剂盒

本发明公开了一种检测人附睾分泌蛋白4的化学发光试剂盒,试剂盒中包含人附睾分泌蛋白4、吖啶酯标记69‑G10‑B8‑G8检测抗体、生物素标记9‑C3‑D12‑B1捕获抗体。吖啶酯标记69‑G10‑B8‑G8检测抗体、生物素标记9‑C3‑D12‑B1捕获抗体分别由各自对应的杂交瘤细胞株69‑G10‑B8‑G8和9‑C3‑D12‑B1分泌获得。这两种杂交瘤细胞株是利用人工合成的HE4基因,经重组质粒、蛋白质表达、动物免疫和筛选,最终亚克隆获得。本发明公开的双抗体夹心复合物的检测灵敏度和精密度好,线性范围宽,对抗原的反应特异性好,不会产生交叉反应。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测5-羟甲基脱氧尿苷的化学方法

本发明公开了一种检测5-羟甲基脱氧尿苷的化学方法,即5-羟甲基脱氧尿苷通过一步反应变成叠氮化的脱氧尿苷,然后用一个带炔基的没有荧光的探针与它反应,反应后的物质有很强的荧光,从而达到荧光从无到有的效果,进而检测出脱氧胸苷氧化突变的存在。该方法可以高效、灵敏、选择性强的检测5-羟甲基脱氧尿苷。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学检测用过滤装置
化学检测用过滤装置 927     
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本实用新型公开了一种化学检测用过滤装置,包括底板,所述底板顶部的四个拐角处均固定连接有支撑腿,所述支撑腿的顶部固定连接有固定底座,所述固定底座顶部的中间位置固定连接有过滤罐体,本实用新型设置有排气管道、第一驱动电机、风扇、第二过滤板和加料口,通过加料口将化学物料进入到过滤罐体的内部,再通过第一驱动电机带动驱动轴转动的同时驱动轴带动风扇转动,使得化学物料散发的刺激性有害的气体吸进到排气管道内,进一步通过第二过滤板将刺激性有害的气体进行吸收过滤,从而可以对化学物料中刺激性有害的气体进行吸收过滤,避免了因泄露而对工作人员造成伤害。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
便于携带的小型化学气体检测装置

本实用新型公开了一种便于携带的小型化学气体检测装置,包括保护箱和检测箱;所述保护箱内部活动插接有第一内壳,所述第一内壳内部活动安装有第一分流板;所述检测箱内部活动插接有第二内壳,所述第二内壳内部活动安装有第二分流板,所述第二分流板内部插接安装有检测块。通过第一内壳和第一分流板的配合在将气体分流的过程中还能使进气插块稳定插入,从而固定检测块的使用,检测箱和保护箱的活动插接可以方便针对气体需要检测的不同更换第二内壳内部安装的检测块,通过设置第二内壳和第二分流板对应第一内壳和第一分流板来固定检测块的使用位置,第一分流板和第二分流板使气体能够分流排出,进行针对性检测。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
集成化的化学反应快速检测装置及其方法

本发明涉及一种集成化的化学反应快速检测装置及其方法,涉及食品、药品、化妆品等快检技术领域。本发明检测装置为一个圆柱或圆锥状的密闭腔体;由密封盖(1)、预处理室(2)、反应室(3)、过滤管(4)、预处理试剂(5)和反应试剂(6)组成;预处理室(2)顶部设置密封盖(1);预处理室(2)与反应室(3)通过过滤管(4)上下连通;过滤管(4)内安装微孔滤芯或其他过滤材质(4.1);预处理试剂(5)预先置于预处理室(2)中,或置其它容器中;反应试剂(6)预先置于反应室(3)中;或冷冻干燥,或制成药片、小丸;或从侧孔(3.1)加入;检测方法为将样品置于预处理室(2)中,或加入预处理试剂(5),封盖,振摇,离心,反应,观察或检测结果。本发明实现了样品预处理、过滤、反应集成化,简便实用;易于实现标准化;适合现场快速检测。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新型冠状病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒及应用

本发明涉及一种新型冠状病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒及应用,属于免疫学检测领域。所述试剂盒含有以下试剂:酶标二抗、磁标异硫氰酸荧光素抗体、异硫氰酸荧光素修饰新型冠状病毒抗原、定标溶液、阳性对照品、阴性对照品和样本稀释液;所述异硫氰酸荧光素修饰新型冠状病毒抗原上的新型冠状病毒抗原能与新型冠状病毒抗体特异性结合;所述的磁标异硫氰酸荧光素抗体能与所述异硫氰酸荧光素修饰新型冠状病毒抗原上的异硫氰酸荧光素特异性结合;所述酶标二抗能与新冠病毒抗体特异性结合;所述酶标二抗上的酶能降解所述发光底物液中的发光底物,使所述发光底物发光。采用所述的试剂盒检测抗体,具有较高的检测限、特异性和准确度的效果。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
半乳糖凝集素-3磁微粒化学发光免疫定量检测试剂盒

本发明公开一种半乳糖凝集素‑3磁微粒化学发光免疫定量检测试剂盒,包括链霉素亲和素包被的磁微粒悬浮液,碱性磷酸酶标记的Gal‑3检测抗体溶液,生物素标记的Gal‑3捕获抗体溶液,重组Gal‑3抗原系列校准品,化学发光液及清洗剂,操作快速简单、灵敏度及重复性高。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测人可溶性CD14的化学发光试剂盒

本发明公开了一种检测人可溶性CD14的化学发光试剂盒,包括吖啶酯标记76‑G3‑G5检测抗体、生物素标记8‑A8‑B8捕获抗体;所述吖啶酯标记76‑G3‑G5检测抗体是将单克隆抗体76‑G3‑G5通过吖啶酯标记后制得,所述单克隆抗体76‑G3‑G5是由杂交瘤细胞株76‑G3‑G5分泌获得;所述生物素标记8‑A8‑B8捕获抗体是先将单克隆抗体8‑A8‑B8利用生物素标记,然后再与包埋有亲和素的磁珠结合后制得,所述单克隆抗体8‑A8‑B8是由杂交瘤细胞株8‑A8‑B8分泌获得。在制备筛选杂交瘤细胞株时采用质粒免疫和蛋白免疫相结合的方式,检测灵敏度高、特异性好、线性范围宽、精密度高、稳定性好,操作安全,方法简便快速。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
NGAL光激发化学发光检测试剂盒、其制备及使用方法

本发明涉及一种制备NGAL光激发化学发光检测试剂盒的方法,包括如下步骤:活化发光微球:将发光微球通过配制的碳二亚胺及Sulfo-NHS溶液在PBS缓冲液中活化,发光微球为羧基修饰发光微球,发光微球中包被有二甲基噻吩、蒽、红荧烯且带有铕螯合物;抗NGAL抗体偶联发光微球:选取羧基修饰发光微球,将抗NGAL单克隆抗体与活化的羧基修饰发光微球混合反应以偶联抗体到微球上,并且在混合抗体和活化微球的同时加入了新鲜配置的碳二亚胺;生物素标记抗NGAL抗体;亲和素标记感光微球。还涉及其制备及使用方法。本发明解决了现有技术的检测方法解决了现有技术中检测方法灵敏度低、检测容易受环境干扰的问题。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
集成化的化学反应快速检测装置

本实用新型公开了一种集成化的化学反应快速检测装置,涉及食品、药品、化妆品等快检技术领域。本检测装置为一个圆柱或圆锥状的密闭腔体;由密封盖(1)、预处理室(2)、反应室(3)、过滤管(4)、预处理试剂(5)和反应试剂(6)组成;预处理室(2)顶部设置密封盖(1);预处理室(2)与反应室(3)通过过滤管(4)上下连通;过滤管(4)内安装微孔滤芯(4.1);预处理试剂(5)预先置于预处理室(2)中;反应试剂(6)预先置于反应室(3)中;或冷冻干燥;或制成药片、小丸;或从侧孔(3.1)加入。使用时将样品置于预处理室(2)中,封盖,振摇,离心,反应,观察或检测结果。本实用新型实现了样品预处理、过滤、反应集成化,简便实用;易于实现标准化;适合现场快速检测。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于化学镀钯的光纤氢气传感器制备方法及检测装置

本发明公开了一种基于化学镀钯的光纤氢气传感器检测装置,包括光谱仪和宽带光源,光谱仪和宽带光源均通过光纤与一耦合器连接;耦合器另一端通过光纤穿过一气室,与设置于气室中的光纤氢气传感器连接;气室设有进气孔;该装置还包括氢气瓶和氮气瓶,氢气瓶和氮气瓶通过管路与一气体流量计连接,气体流量计的出气口通过管路与气室的进气孔连接。该检测装置实现了对光纤氢气传感器的迅速检测。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学同步检测锌、镉、铅、铜、汞离子的方法

本发明公开了一种电化学同步检测锌、镉、铅、铜、汞离子的方法。该方法可实现多种重金属离子的高灵敏同步检测,对锌、镉、铅、铜、汞离子的检测灵敏度分别为:0.17,0.51,0.68,0.89,0.51μAμg‑1L‑1cm‑2,检测限分别为0.08,0.09,0.05,0.19,0.01μg/L,线性范围分别为6‑7000,4‑6000,6‑5000,4‑4000,6‑5000μg/L。具有高的灵敏度、良好的选择性、宽的线性范围、优良的重现性、稳定性,达到简单、低廉、快速、灵敏的检测效果。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
氯霉素化学发光酶联免疫检测试剂盒

本实用新型公开了一种氯霉素化学发光酶联免疫检测试剂盒,包括盒体和包被有抗原的酶标板,盒体内设置存放不同溶液的试剂瓶,试剂瓶分别为酶标氯霉素抗体工作液试剂瓶、氯霉素系列标准溶液试剂瓶、浓缩磷酸盐缓冲溶液试剂瓶、浓缩洗涤液试剂瓶和发光液试剂瓶。本实用新型操作简便,用时短,无需长时间显色及终止,且灵敏度高,特异性好,能快速、简便、灵敏地用于水产品中氯霉素的检测。该试剂盒可检出的最低检测限为0.0125ng/mL,可一次性进行多个样本的测定,减少检测样本所需要的时间。本实用新型具有节约成本、操作简便快速、可在非实验室条件下进行、便于携带和运输的特点。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新城疫病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒及其应用

本发明公开了一种新城疫病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒及其应用,属于免疫学检测领域。试剂盒含有酶标抗IgY抗体、磁标新城疫病毒抗原和发光底物液。先将磁标新城疫病毒抗原分别与稀释后的血清样本和标准品溶液混匀,形成磁标新城疫病毒抗原与新城疫病毒抗体复合物,然后进行磁分离,将沉淀物清洗后,将酶标抗体加入到沉淀物中,与复合物上的抗体结合,然后进行磁分离和沉淀物的清洗,再加入发光底物液,使发光底物与结合到复合物上的酶标抗体上的的酶反应,检测发光值,以加入标准品溶液的发光值绘制标准曲线,以加入待检测样品的发光值计算待测样品中抗体的含量。采用所述的试剂盒检测抗体,具有灵敏度和准确度高以及特异性强的效果。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
多靶标磁免疫化学发光微流控芯片检测平台及方法

本发明公开了一种多靶标磁免疫化学发光微流控芯片检测平台及方法。属于体外快速诊断领域。所述检测平台包括加样孔、液流连接通道、靶标检测区、废液口、清洗液池和发光液池;所述靶标检测区包括顺次连接的包被区、混合区和捕获区;检测方法为:将样品注入加样孔,流经液流连接通道,复溶包被区的抗体,并形成靶标复合物被捕获,剩余样品流经下游包被区形成靶标复合物,并被捕获,直至样品中各靶标分子分别被捕获;然后用清洗液去除游离非靶标分子,再释放发光液依次流经各捕获区,进行信号采集。此平台集成进样,磁吸高效捕获分离以及快速检测,能实现在一块芯片上进行多靶标同时检测,具有操作方便,检测快捷,以及成本低等特点。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学品船监理用的不锈钢板件表面检测设备

本实用新型提供的一种化学品船监理用的不锈钢板件表面检测设备,所述底座上相对于所述传动机构对称设有两个伸缩机构,且两个所述伸缩机构的顶部相对的一侧分别设有红外线发射器和红外线接收器,所述底座上设有位于所述传动机构正下方的升降机构,且所述升降机构的两端分别与两侧所述伸缩机构连接并带动伸缩机构上下伸缩,所述底座上设有控制器,且所述红外线接收器与所述控制器、以及所述控制器与所述传动机构均通过电连接,该化学品船监理用的不锈钢板件表面检测设备可以自动调节,并检测不同厚度尺寸的不锈钢板件,使用非常灵活。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
H7禽流感病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒

本实用新型公开了一种H7禽流感病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒,属于免疫学检测领域。所述试剂盒包括盒体以及盒体内的不同溶剂的试剂瓶;所述不同溶剂的试剂瓶分别为酶标抗体试剂瓶、磁标异硫氰酸荧光素抗体试剂瓶、异硫氰酸荧光素修饰H7禽流感病毒抗原试剂瓶、标准品溶液试剂瓶、样本稀释液试剂瓶、发光底物液试剂瓶和浓缩洗涤液试剂瓶。本实用新型中的H7禽流感病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒结构设置合理,取用方便,便于携带和运输。

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化学分析
湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学检测仪
电化学检测仪 1029     
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本发明涉及食品安全检测技术领域,尤其是电化学检测仪,由检测主机及自动化搅拌器两个独立部分组成。检测主机包括CPU模块、PC机、通讯模块、人机界面模块、触摸显示屏、电源模块、指示灯及蜂鸣器、开机及复位按键和JTAG调试接口,触摸显示屏、电源模块、指示灯及蜂鸣器、开机及复位按键和JTAG调试接口均连接CPU模块,人机界面模块通过PC机连接通讯模块,所述通讯模块连接CPU模块,CPU模块还连接键盘、锂电池模块、旋转电极模块、USB接口和鼠标。自动化搅拌器连接有即用即抛型丝网印刷电极。本发明有益效果:检测时间短,检测过程约为5min;灵敏度高,检测范围为1ppb—10ppm;检测范围广,包括重金属、农药残留、兽药残留、非法添加剂等,且仪器体积小、选择性高、响应时间短、所需样品少、操作简单便捷及适于现场检测等。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学品船监理用的不锈钢板件强度检测的夹持装置

本实用新型提供的一种化学品船监理用的不锈钢板件强度检测的夹持装置,至少包括底板,所述底板的上表面固定连接有工作台,且所述工作台呈U型状,所述工作台的前后两端设有开口,且所述工作台的顶部缺失,所述工作台的内腔设有支撑组件,且所述工作台顶部的四个角落均设有夹持机构,不锈钢板件沿开口方向插入至所述支撑组件上并被所述夹持机构夹持固定,该化学品船监理用的不锈钢板件强度检测的夹持装置可以很容易夹持不锈钢板件,且不会损伤不锈钢板件,结构简单,使用便捷。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
参数集成实时数显的化学检测单元

本实用新型提供一种参数集成实时数显的化学检测单元,涉及水质检测技术领域,包括导流球座、检测探针和显示台,导流球座外部表面贯穿设有进水管、出水管和导水管,导流球座内部套接设有导流球套,导流球套底面连接设有动力电机,导流球座顶面螺纹连接设有连接套管,连接套管内部顶面螺栓连接设有推动气缸,推动气缸的活动端螺纹连接设有检测台,检测台底面圆周阵列设有检测探针,推动气缸定时伸长通过检测探针对导流球套内部的水流进行定时检测,检测时导流球套旋转使导水管连通进行检测水的排出,检测后旋转与出水管连通,使检测水流与实际流出水流进行取样分离检测和排出,避免单独容器取样的繁琐,便于实时检测水质,结构简单,便于安装。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测高倍甜味剂NHDC的化学修饰电极及制备方法

本发明提供一种检测高倍甜味剂NHDC的化学修饰电极及制备方法,运用电沉积方法将ZIF‑8材料修饰于玻碳电极表面,用Nafion试剂将其固定,据此制备的化学修饰电极能实现对NHDC的灵敏性检测。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
检测窗口的保护装置及一种化学气相沉积机台

本实用新型涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种检测窗口的保护装置及一种化学气相沉积机台,一对检测窗口设置于连接反应腔室的一气体传输管道的两侧,在反应腔室启动一清洁程序时,一检测装置通过一对检测窗口检测反应腔室内的气体浓度,一对检测窗口包括一第一检测窗口和一第二检测窗口;保护装置用于将两个检测窗口与气体传输管道内的气体隔离,保护装置包括:一第一隔离阀,设置于第一检测窗口与气体传输管道之间;一第二隔离阀,设置于第二检测窗口与气体传输管道之间。有益效果:使用两个隔离阀可以使两个检测窗口完全隔离反应气体,避免在不执行清洁程序时反应气体附着在检测窗口的表面,提高检测窗口的使用寿命,以及提高清洁的效果。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学品船监理用的耐腐蚀管道强度检测设备

本实用新型提供的一种化学品船监理用的耐腐蚀管道强度检测设备,至少包括底座,且所述底座的上表面设有龙门架,所述龙门架的横梁底部设有气缸且所述气缸的输出轴向下同轴连接有压板,所述底座上设有位于所述龙门架两侧柱之间的载物台,且所述载物台的上表面设有与所述载物台等长的弧形放置槽,且所述放置槽内设有若干个可以上下伸缩的平移单元,相邻所述平移单元之间均设有压力传感器,且所述底座上设有与所述压力传感器通过电连接的控制器,所述载物台与所述龙门架的两侧柱之间均设置可以上下伸缩的夹持单元,该化学品船监理用的耐腐蚀管道强度检测设备方便放置耐腐蚀管道,同时夹持效果好,操作简单,效率高。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
克伦特罗的磁微粒化学发光免疫检测试剂盒

本实用新型涉及一种检测克伦特罗残留量的磁微粒化学发光检测试剂盒。该试剂盒组成包括:克伦特罗标准品、磁分离试剂、酶标记克伦特罗使用液、浓缩样品稀释液。浓缩清洗液和发光底物溶液随试剂盒另外配置。本试剂盒采用直接竞争法,在磁性微球上偶联有克伦特罗抗原,样本中残留的克伦特罗和磁性微球上固定的克伦特罗竞争结合碱性磷酸酶标记的克伦特罗抗体,加入发光底物,测量各管发光值,样本中发光值与标准曲线比较计算对应的浓度值再乘以样本前处理的稀释倍数即可得到样本中克伦特罗的残留量。本试剂盒可与全自动化学发光免疫检测仪配套使用从而实现动物组织中克伦特罗残留检测的自动化。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新型空间位阻调控型可见光光电化学检测PFOA传感器研制及其应用

本发明涉及新型空间位阻调控型可见光光电化学检测PFOA传感器研制及其应用。它为分子印迹聚合物@AgI-BiOINFs/FTO电极,由AgI-BiOINFs/FTO和涂覆在AgI-BiOINFs表面的PFOA分子印迹聚合物组成,BiOI呈纳米薄片状,独立交错地均匀分布在FTO基底上,AgI呈颗粒状,均匀地生长在BiOI纳米薄片上。其基于分子印迹的碘氧化铋-碘化银复合材料为传感界面,并利用空间位阻效应引起的电流信号变化在可见光范围内实现了对全氟辛酸的高灵敏度检测。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
新城疫病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒

本实用新型公开了一种新城疫病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒,属于免疫学检测领域。试剂盒包括盒体以及试剂瓶;试剂瓶分别为酶标抗IgY抗体试剂瓶、磁标新城疫病毒抗原试剂瓶、标准品溶液试剂瓶、样本稀释液试剂瓶、发光底物液试剂瓶和浓缩洗涤液试剂瓶。本实用新型中的新城疫病毒抗体磁免疫化学发光检测试剂盒结构设置合理,取用方便,便于携带和运输。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学品船不锈钢板件的焊缝检测夹持装置

本实用新型提供的一种化学品船不锈钢板件的焊缝检测夹持装置,至少包括底座,且所述底座的两端均垂直向上设置有两个立柱,两个所述立柱均与所述底座通过滑槽结构滑动连接,且所述底座上设有与两个所述立柱连接的传动机构,两个所述立柱上均设有夹持机构,且所述底座上设有支撑机构,所述支撑机构支撑不锈钢板件并通过两个夹持机构分别与相对的所述立柱外壁夹持固定不锈钢板件,该化学品船不锈钢板件的焊缝检测夹持装置可以将不锈钢板件竖直放置并夹持固定,方便对焊缝的两侧进行检测,提高焊缝的检测效率,操作简单,使用方便。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨机台及方法、缺陷检测方法

本发明提供一种化学机械研磨机台及方法、缺陷检测方法,包括:研磨装置,用于对晶圆进行研磨;清洗装置,用于对研磨后的晶圆进行清洗;缺陷扫描装置,用于对清洗后的晶圆进行检测;晶圆传输装置,用于晶圆在研磨装置和清洗装置之间以及清洗装置和缺陷扫描装置之间的传输。利用机台中的缺陷扫描装置直接对清洗后的晶圆进行检测,缺陷扫描装置检测不合格的晶圆不需要经过光学特征尺寸测量、晶圆的最大厚度与最小厚度的绝对差值测量以及弯曲度测量等,以及后续良率提升阶段的检测,缩短晶圆的循环时间。并且由于利用缺陷扫描装置能够有效检测晶圆表面的缺陷,减少进入良率提升阶段缺陷晶圆的数量,从而能够缩短晶圆的检测时间,提高晶圆的检测效率。

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湖北 - 武汉 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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