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福建厦门有色金属分析检测技术理论与应用

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由苯乙烯环氧化制环氧苯乙烷的固体催化剂及其制备方法

涉及一种以氧气为氧源的苯乙烯环氧化制环氧 苯乙烷的固体催化剂。由交换在分子筛中的第VIII族金属离子 组成,组成为:mAn+/[MI,MII]O·Al2O3·xSiO2,[MI,MII]O·Al2O3·xSiO2为微孔分子筛的化学表示式,MI,MII分别为一价和二价金属,x为分子筛的硅铝比,An+为第VIII族金属离子;m为第VIII族金属离子在催化剂中的重量百分含量。微孔分子筛为X,Y,L,Beta,Mordenite,MCM-22等。第VIII族金属为铁或钴。在合适的反应条件下苯乙烯的转化率在4h之内达到40%以上,环氧化物的选择性在60%以上,且除少量的苯乙醛和苯甲酸外,其它副产物均为苯甲醛,催化剂在多次重复使用后苯乙烯的转化率和环氧化物的选择性无明显下降。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
可同时用于多种真菌毒素特异性识别的核酸适配体亲和整体柱及其制备方法

本发明公开了一种可同时用于多种真菌毒素特异性识别的核酸适配体亲和整体柱及其制备方法,本发明基于简单、快速的光引发聚合技术和惰性制孔技术,将具有高亲水性的单体、高比表面积的低聚倍硅氧烷交联剂及多种不同的抗真菌毒素核酸适配体,采用“一锅法”协同“巯基‑烯”点击化学反应,快速制备得到一种多功能核酸适配体亲和整体柱。该多功能亲和整体柱制备过程简单、反应迅速、耗时少,其固定相基质具有较高的亲水性,整体柱柱体结构稳定,修饰有多种真菌毒素核酸适配体,核酸适配体反应效率和活性高,有利于提高与目标物之间的特异选择识别,可用于实现多种不同理化性质真菌毒素的高特异性、高灵敏度分析、识别。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
样品粉碎装置
样品粉碎装置 920     
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本实用新型公开了一种样品粉碎装置,涉及常规化学成分的检测前处理技术领域,用于实现样品粉碎输出后的清洗问题。样品粉碎装置包括壳体,壳体内部设有可转动的刀片,壳体设有用于向壳体内部通入流体的第一开口以及用于流出流体的第二开口。上述技术方案,设有刀片能可连续、快速粉碎烟丝样品,设有第一开口和第二开口,能实现待测试样品的粉碎及输出后,清洗壳体内壁,大大降低了人工劳动时间,提高了清洗效率,且能避免清洗过程中粉尘颗粒被人体呼吸系统直接吸入,提高了产品使用的安全性。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
pH响应薄膜材料及其制备方法和pH指示剂的制备方法

本发明公开了一种pH响应薄膜材料及其制备方法和pH指示剂的制备方法。一种pH指示剂的制备方法,主要包括如下步骤:S1:将植物废弃物过40‑100目筛,得到植物废弃物粉末,植物废弃物的颜色选自红色、橘红色、蓝色、黄色、绿色、紫色、橙色的任意一种;S2:将步骤S1制得的植物废弃物粉末和溶剂混合,在30‑60℃条件下,持续搅拌2‑24h,离心、过滤、浓缩、冻干,得到植物提取物;S3:选取去离子水和/或无水乙醇将步骤S2制得的植物提取物稀释至pH为中性,得到0.1‑10wt%的植物提取物pH指示剂。本发明公开的一种pH响应薄膜材料及其制备方法和pH指示剂的制备方法,以减少传统化学酸碱指示剂对检测、实验人员危害,保证pH指示剂在调节和测定过程中的灵敏指示效应。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
超声波按键的线路板加工工艺

本发明提供了一种超声波按键的线路板加工工艺,包括下述步骤:S1、将铜箔原材料切割成固定尺寸的铜箔基板;S2、采用CNC钻孔技术实现通孔加工;S3、采用黑孔技术实现基板层与层之间的导电性;S4、采用整板电镀镀铜实现加厚基板表面厚度以及孔壁厚度,压膜、曝光、显影、AOI完成线路的制作;S5、在经过覆盖膜贴合、阻焊制作、化学镍金、飞针测试、补强贴合、字符丝印、SMT表面组装、贴压敏胶、成型、功能测和检验,完成;其中SMT表面组装为ACF工艺实现,所述ACF工艺的基本流程包括ACF胶贴合工序、贴装工序和ACF本压工序。本发明主要将SMT中传统的锡膏焊接工艺替换为ACF工艺,从而满足了陶瓷器件对于平整性的要求。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
非法向入射原位变温漫反射红外池

本实用新型涉及一种红外光谱测量装置。它提供一种原位变温漫反射红外池,主要包括池体、池盖、样品槽、光学红外窗板、密封圈、热电偶孔、进出气孔、加热器和绝缘隔热垫圈。它不仅保留常规漫反射红外光谱技术的优点,而且能够抽空、加压、升温变温,能够测定气相和液相物质,能够灵敏地检测气固相物质界面的相互作用或化学反应的信息,扩大其功能和应用范围。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于大功率风力发电机的高强度绝缘传动轴

本实用新型公开了一种用于大功率风力发电机的高强度绝缘传动轴,包括绝缘轴和金属法兰;所述绝缘轴是采用玻璃纤维缠绕而成,且所述玻璃纤维的外层还涂覆有环氧树脂层;所述金属法兰包括轴向部和径向部,所述绝缘轴的端部与所述金属法兰的轴向部相配合,并通过化学联接中间体进行固定连接;本实用新型通过了合格性无损检测的验证和符合性强度检测的验证,不仅能够保证传动轴的强度,而且能够有效降低轴电流的危害,从而能够满足更大强度要求和更高绝缘度要求,适用于大功率风力发电机。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
建立代谢物模型及其代谢组学数据库的方法

本发明公开了一种建立建立代谢物模型及其代谢组学数据库的方法。首先建立代谢物保留时间模型,以已知代谢组学数据库为基础,建立新的使用预测保留时间的代谢组学数据库。建立过程中,将已知的代谢物随机分为训练组和检验组。使用训练组代谢物的MD和保留时间建立模型,使用support vector machine法建立模型,并使用检验组验证模型情况。将拟收录的新代谢物的信息合并,根据建立好的模型获得新代谢物保留时间。本发明方法旨在在缺乏代谢物化学标准品的情况下,通过计算机辅助模拟的方式获得该代谢物的预测保留时间。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
柔性电路板生产废水排放工艺

本发明公开了一种柔性电路板生产废水排放工艺,包括化学沉淀、膜固液分离、RO膜回用、废水检测等步骤。由于本发明包括二组以上的收集槽,将处理过的污水存于排放水收集槽,待检测达标后再排放,若不达标则将此池体内的污水提升至再处理系统,处理达标后再进行排放,具有工艺简单、造价成本低、水质稳定达标的优点。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于大功率风力发电机的高强度绝缘传动轴及其制造方法

本发明公开了一种用于大功率风力发电机的高强度绝缘传动轴,包括绝缘轴和金属法兰;所述绝缘轴是采用玻璃纤维缠绕而成,且所述玻璃纤维的外层还涂覆有环氧树脂层;所述金属法兰包括轴向部和径向部,所述绝缘轴的端部与所述金属法兰的轴向部相配合,并通过化学联接中间体进行固定连接;并且,本发明还相应的公开了所述高强度绝缘传动轴的制造方法,并通过了合格性无损检测的验证和符合性强度检测的验证,不仅能够保证传动轴的强度,而且能够有效降低轴电流的危害,从而能够满足更大强度要求和更高绝缘度要求,适用于大功率风力发电机。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
阵列结构硅基点阵的制备方法及其应用

本发明公开了一种阵列结构硅基点阵的制备方法及其应用,所述制备方法包括:在一硅片表面旋涂光刻胶;采用光刻方法在所述硅片表面形成特定尺寸的点样区;采用溶液法在含点样区的所述硅片表面自组装微纳米球;对沉积了微纳米球的所述硅片进行刻蚀,使所述点样区形成微纳米结构阵列;去除所述硅片表面的所述光刻胶;且去除所述硅片表面的所述微纳米球。本发明阵列结构硅基点阵的制备方法所制得的硅基点阵在质谱检测、拉曼检测、生物传感器或者光电探测器中的应用。本发明的硅基点阵在物理、化学、能源、催化、生命科学及信息等领域具有潜在的应用前景。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
获得核磁共振二维相敏J谱的方法

一种获得核磁共振二维相敏J谱的方法。将待测样品装入核磁管,并将装样后的核磁管送入磁共振谱仪的检测腔;调用常规一维氢谱脉冲序列采集一维氢谱,获得信号峰分布和谱宽信息,并测量非选择性90°射频脉冲宽度;在核磁共振波谱仪器上导入编译的二维相敏J谱脉冲序列,打开二维相敏J谱脉冲序列的chirp脉冲弱选层梯度组合模块和二维相敏J谱脉冲序列J采样模块;设置二维相敏J谱脉冲序列实验参数,检查实验参数设置无误后,执行数据采样;当数据采集完成后,进行相应的数据拼接和二维傅里叶变换,得到一张包含J偶合信息和化学位移信息的二维频率谱;对所获二维频率谱进行二维相敏处理,可得到一张二维相敏J谱。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
表面修饰巯基的磁性纳米材料及其制备方法和应用

本发明公开一种表面修饰巯基的磁性纳米材料及其制备方法和应用,本发明属于无机材料和分析技术领域。本发明磁性纳米材料是先采用共沉淀合成磁性纳米材料,采用γ-巯基丙基三甲氧基硅烷和四乙氧基硅烷对其进行表面化学修饰得到。该材料作为吸附剂,比表面大,可以选择性地吸附四价硒而不吸附六价硒。该材料在硒形态分析领域具有良好的应用领域。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于3D打印技术设计制造生化药剂制品的方法

一种基于3D打印技术设计制造生化药剂制品的方法,通过计算机对生化药剂制品进行3D建模,将3D建模数据传输给3D打印机,利用CAE技术产生若干连续分层的平面图,根据平面图控制3D打印机喷嘴将化学药品填充起来,逐层累积直至成型。本发明集软件开发、耗材、机械电子、生化分析、病理分析于一体的综合工程,降低药品制作成本;设计制造的生化药剂制品外观的个性化、人性化,更具亲和力;根据各个客户的身体构造、病理状况的特殊性和差异化,及时提供有效产品;还根据人体生理特点制造靶向药物。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
球的四维空间的静态与动态划分方法

球的四维空间的静态与动态划分方法,涉及球体空间。四维球在坐标系中的静态维度划分方法;四维球的动态维度划分方法。四维球的静态与动态维度划分方法在数学上有重大突破,它明确地定义了四维空间在一个球中的几何形状。目前抽象的线性代数中的四维空间还没有具体的几何对应体。四维球的静态与动态维度划分方法在结构化学和有机化学上有重要直接应用,可用于分析原子结构、分子立体构造和反应机理。可用于开发原子和分子结构模拟软件,设计科学模型,付诸于教学、科研和生产等领域。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
加药的装置
加药的装置 1033     
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本实用新型公开了一种加药装置,该加药装置包括硫酸铜整流机,硫酸铜电镀槽,电流检测传感器,电镀挂具,需电镀的塑胶产品,蠕动泵加药机,PLC控制系统和相应的电镀槽。电流检测传感器通过对该整流机输出电源线进行电流检测获得整流机的输出电流,并向PLC控制系统输入电流信号;PLC控制系统根据该电流信号以对该蠕动泵加药机输入加药信号,该蠕动泵加药机根据加药信号,通过加药管道分别对相应的电镀槽进行加药;通过本实用新型可实现敏化和化学镍槽的在线加药且避免加药过程中药品浓度的波动及贵重药品的浪费。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
羟基自由基溶液的制备方法和装置

一种羟基自由基溶液的制备方法和装置,属于气体放电物理和自由基化学技术领域。所述方法:启动电源,原料气进入氧等离子体发生源电离、离解,生成氧等离子体气体,再从氧等离子体发生源出口,一部分通入氧等离子体气体浓度检测仪,其余进入高压射流器;水泵入过滤器,再流入高压射流器与进入高压射流器的氧等离子体气体气液混溶后,再流入气液分离器进一步混溶,未溶解于水中的氧等离子体气体通过剩余气体消除器热分解成氧气排放,生成羟基自由基溶液。所述装置设有氧等离子体发生源、电源、等离子体诊断设备、氧等离子体气体浓度检测仪、气液高压射流器、过滤器、泵、气液分离器、剩余气体消除器、总氧化剂TRO检测仪、主管路。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
羟基自由基杀灭赤潮藻孢囊的装置和方法

一种羟基自由基杀灭赤潮藻孢囊的方法和装置,装置设有电源、模块化氧活性碎片发生器、在线氧活性碎片检测器、气液混溶器、文丘里射流器、液体计量泵、气体流量计、液体流量计、水质检测器、水力空化喷嘴、填料反应器、气液分离器、TRO在线检测器、液体主管路、液体支管路。利用大气压强电离放电方法,制备高浓度的羟基自由基溶液,能快速高效杀灭赤潮藻孢囊,对致病菌等的杀灭效率可达99.5%~100%,解决一般物理化学方法无法有效杀灭赤潮藻孢囊的难点。羟基自由基能够氧化大分子有机物并有效降低压载水的浊度和有机物浓度,表明处理出水对海洋生态环境、人体健康、船舶安全无潜在风险。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
加药的装置和加药方法

本发明公开了一种加药装置和加药方法,该加药装置包括硫酸铜整流机,硫酸铜电镀槽,电流检测传感器,电镀挂具,需电镀的塑胶产品,蠕动泵加药机,PLC控制系统和相应的电镀槽。电流检测传感器通过对该整流机输出电源线进行电流检测获得整流机的输出电流,并向PLC控制系统输入电流信号;PLC控制系统根据该电流信号以对该蠕动泵加药机输入加药信号,该蠕动泵加药机根据加药信号,通过加药管道分别对相应的电镀槽进行加药;通过本发明可实现敏化和化学镍槽的在线加药且避免加药过程中药品浓度的波动及贵重药品的浪费。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
带有有毒气体警报及净化功能的环保型吸塑机

本实用新型公开了一种带有有毒气体警报及净化功能的环保型吸塑机,包括机体、上料机构、净化机构和集料机构,所述机体的正面滑动连接有安全移门,所述上液压缸通过活塞杆栓接有上压板,所述净化机构的一侧通过净化腔固定连接有集气管,所述集气管的底端设置有百叶窗,所述净化机构的内部顶端栓接有空气探测器和喷淋器。该实用新型装置利用喷油器自动喷洒硅油于吸塑盒表面,确保集料堆放后的拿取,利用方形集气管进行大面积吸气净化,避免危害员工健康,利用吸附盒对气体进行物理吸附净化,利用空气探测器自动检测气体,智能控制喷淋器喷洒化学酶进行化学吸附净化,减轻气体对环境造成的污染,提高吸塑的环保效果。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
保障电镀废水安全排放的工艺及系统

本发明公开了一种保障电镀废水安全排放的工艺及系统,属于电镀废水处理排放技术领域,一种保障电镀废水安全排放的工艺,包括以下步骤:S1:将电镀废水送入膜化学反应器内,S2:电镀废水进入STRO膜组件,产生的渗透液送入回用水箱,S3:浓水进入DTRO膜组件,产生的渗透液送入回用水箱,S4:浓水送入低温蒸发器,产生的冷凝水送入回用水箱,S5:电镀废水电解除杂,产生的废气送入废气处理设备处理后排放,S6:废水送入A池内,A池满后,多余的废水进入B池,S7:废水停留一段时间后,对废水进行检测,当检测合格时直接排放,当检测不合格时将废水送入事故池。本发明的保障电镀废水安全排放的工艺及系统,重金属去除率高,处理效率高,并对最终排放的废水进行检测,降低污染。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
铋酸锌/氧化铋纳米复合材料及其制备方法

本发明涉及一种铋酸锌/氧化铋纳米复合材料及其制备方法,制备方法包括:将柠檬酸溶解于去离子水中,得到的柠檬酸溶液中加入硝酸铋和乙酸锌,搅拌后静置沉淀,过滤得到的沉淀物洗涤后干燥,之后在400~600℃下煅烧处理1‑3h。所述铋酸锌/氧化铋纳米复合材料为纳米花结构,其比表面积大,结构稳定,电阻值低,经其修饰后的玻碳电极对苯甲酸的检测灵敏度高,可以广泛运用于检测生物污染分子,而且电化学检测范围宽,检测限低。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
可以实现冷链运输安全无污染消毒杀菌的手套型装置

一种可以实现冷链运输安全无污染消毒杀菌的手套型装置,涉及深紫外杀菌。为可穿戴手套,设有消杀模块、检测模块、电源模块、智能控制模块和显示模块;消杀模块包括基板和在基板上排布的深紫外光源,深紫外光源的光源方向朝外,用于消毒杀菌;检测模块用于采集消杀距离、紫外光及环境温湿度信息;显示模块用于显示检测模块的实时数据和消杀时间模式选择命令输入;智能控制模块用于实现信号接收处理及传递,通过MCU接收检测模块得到的数据和操作者下达的命令进行处理,选择不同的工作时间模式及消杀模块供电大小实时控制消杀模块的功率;电源模块为各个模块供电。具有方便穿戴、杀菌消毒、模式可调、功率可调、节能环保且无化学残留等优点。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
评价卷烟香味补偿技术的方法

一种评价卷烟香味补偿技术的方法,该方法利用二维气相色谱(包括二维气相色谱、二维液相色谱等能显示二维谱图的仪器及方法)独特的二维分布可以形象直观地表征表香化学成分在卷烟产品中的分布规律,进而评价卷烟香味补偿效果。通过对比表香、未加香叶组烟丝和加香卷烟化学成分并结合感官评价,分析表香化学成分在叶组配方中的分布及作用,了解某表香是否具备了头香、体香和基香及是否与卷烟本香谐调,为低焦油卷烟香味补偿技术提供参考。该方法具有更为方便快捷、直观精准等优点。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
温度可控、可预置催化剂的微管道反应器

本实用新型公开了一种温度可控、可预置催化剂的微管道反应器,包括化学反应室、控制器件和取样器件,所述化学反应室右端设有空气加热器件,空气加热器件下侧设有空气冷却器件,且化学反应室下端设有控制器件,所述化学反应室包括微反应管道组件、出料管道、排气管道、空气连接管道和若干温度探头。本实用新型使用时,通过流量控制器件设置进料速度和进料总量,通过进料泵将物料输送至化学反应室,首先输送至进料混合腔,初步混合后,系统自动启动第一单向阀和第三单向阀开启,物料进一步传输至微反应管道组件开始反应,物料后续输送至二次进料腔,此时可以通过取样器件取样检测反应情况。

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化学分析
福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
石墨烯传感器及其制备方法和应用

本发明提供了一种石墨烯传感器及其制备方法和应用,属于传感器技术领域。本发明提供的石墨烯传感器包括基底以及叠层设置在所述基底单面的电极层和功能化石墨烯薄膜,所述功能化石墨烯薄膜由石墨烯薄膜经三乙胺修饰得到。本发明利用三乙胺作为探针对石墨烯薄膜进行修饰,能够实现硝态氮的灵敏准确测定。本发明提供的石墨烯传感器基于化学官能团识别待测物而非采用生物法识别待测物,成本低且化学稳定性强。本发明提供的石墨烯传感器对硝态氮具有瞬时响应(秒)、检测限低(1.8nM)的优势,且抗干扰能力强,在干扰离子(Cl‑、CO32‑以及SO42‑)存在条件下对硝态氮仍具有良好的特异性。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
双重包覆壳层隔绝针尖的制备方法

一种双重包覆壳层隔绝针尖的制备方法,涉及一种扫描探针。包括以下步骤:1)使用电化学刻蚀的方法制备针尖;2)在针尖表面包覆一层壳层;3)将步骤2)包覆壳层的针尖尖端以外部分用高聚物进行二次包封,得双重包覆壳层隔绝针尖。采用原子层沉积技术,使用不同的源前驱体,可在针尖表面包覆不同的惰性壳层。控制不同的源前驱体的循环圈数可精确控制壳层厚度。双重包覆可避免溶液中非分析物分子吸附在针尖上产生干扰的信号,也可隔绝法拉第电流的干扰,可应用到电化学针尖增强拉曼光谱、电化学扫描隧道显微镜和扫描电化学显微镜中。普适性好,适用于其它针尖的包覆,如银针尖、AFM针尖、铂铱针尖。制备方法简单,适于大批量生产。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于主客体作用的定量物质控释系统及方法

本发明公开了一种基于主客体作用的定量物质控释系统及方法,所述控释系统包括物质储存腔室、控释单元、输运通道和物质检测单元;所述物质储存腔室包含有预存物质;所述控释单元由主客体流体和多孔膜组成且具有刺激响应阀门开关的作用;所述主客体流体可与靶分子作用调控储存物质的释放量;所述物质检测单元通过与释放的物质作用定量将靶分子识别信号转换为可直接读取信号。本发明结合主客体特异性识别的优势与多孔膜复合形成阀门机制,当靶分子与主体分子结合,改变物质通过控释单元的压强,实现物质的可控释放。该检测系统具有成本低、携带方便、操作简单、易于读取等特点,可用于不同检测场景的靶分子进行便携和定量检测,如诊所中疾病的快速诊断、家庭里的健康监测和现场的化学/生化安全监控等。除此之外,也可根据靶分子检测信息反馈系统控制物质释放,实现物质控释检测一体化。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
干燥系统、干燥电芯的方法、电池的生产工艺和电池

本发明公开了一种干燥系统、干燥电芯的方法、电池的生产工艺和电池,所述干燥系统包括:烘箱,烘箱具有腔室,腔室用于容纳电芯;第一检测装置,第一检测装置包括设置于烘箱的第一检测元件,第一检测元件用于检测腔室内的环境特征;干燥部,干燥部位于腔室内,干燥部用于吸收腔室内的水分;加热装置,加热装置用于加热腔室内的电芯;控制装置,控制装置电连接第一检测装置,控制装置用于根据第一检测装置检测的环境特征,控制加热装置的工作状态。根据本发明的干燥系统和干燥电芯的方法,可以实现化学干燥剂与加热干燥方式共同作用,快速去除电芯中的水分,干燥效率高,且能耗较低。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
芯片晶圆数字化清洗的产品清洗工艺

本发明提供以下技术方案:一种芯片晶圆数字化清洗的产品清洗工艺,包括以下步骤:S1.启动设备,系统自动抽真空,使芯片晶圆在数字化清洗的产品清洗工艺过程中均处于真空环境,系统按照芯片晶圆清洗要求进行药液自动配比;S2.机械手自动抓取贴附晶圆的铁片至清洗工位,清洗工位转动,对晶圆喷化学配比药液的同时进行刷洗;S3.停止化学配比药液的喷洒,接通二流体对晶圆进行冲洗;S4.切断二流体供给,利用热氮供给,对晶圆进行吹干烘烤;S5.将S4中吹干烘烤后的晶圆移送至视觉检测工位进行视觉检测,确定是否为良品;S6.若晶圆为良品,结束清洗工艺,通过物料传出机构传出物料,至此清洗工艺结束。本发明的产品清洗工艺可以进行自动化清洗,提高清洗效果。

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福建 - 厦门 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
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