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上海有色金属化学分析技术理论与应用

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混凝土表面防腐材料的现场取样及电化学腐蚀试验方法

本发明提供了一种混凝土表面防腐材料的现场取样及电化学腐蚀试验方法:1、选择取样点位:a、以腐蚀较为严重的污水池的侧壁及顶部作为取样待测试位置,取样污水池侧壁墙面或顶部;b、取样部位表面处于附着状态,平整且无明显孔洞及裂缝;c、取样点位至少涂敷有500μm厚;2、裁取表面涂层并确保涂层样品表面结构完整;3、对裁取的表面涂层背部打磨,去除附着的混凝土,留下完整的涂层切片;将涂层切片粘贴于金属背板制备被测电极样品;4、配置试验溶液作为试验环境:5、使用电化学试验平台对样品在不同试验溶液中进行电化学腐蚀试验,至少包括开路电位试验、交流阻抗试验、动电位试验和动电位循环极化。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
快速评价退火冷轧钢板锈蚀行为的电化学方法

快速评价退火冷轧钢板锈蚀行为的电化学方法,采用开路电位测量来定量地反映腐蚀程度上的差别。具体方法是,采用电解槽,在电解槽一端的中心处开一测试孔,此处嵌镶钢板试样作为工作电极,在工作电极附近设置一参比电极,连接好引线后,向槽内注蒸馏水,注满后接通电源,测量钢板的电位随时间的变化趋势以判断钢板的耐蚀性能:电位随时间降低越快,钢板越易锈蚀,反之亦然。本发明克服了因介质腐蚀性过强而难区分钢板差别的不足,也避免了NaCl对腐蚀过程的影响;浸泡在水中又克服了湿热试验的水膜发展不均匀和大气暴露挂片试验时的水膜依赖气氛发展的不足,从而保证试验条件的可重复性;且可定量地反映腐蚀程度上的差别。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
危险化学品安全信息管理系统

本发明公开了一种危险化学品安全信息管理系统,涉及一种信息管理系统,旨在运用现代传感器技术、物联网技术、数字地图技术、数字视频技术、以及云端大数据服务技术,用以解决政府安全职能部门对辖区的企业仓库或车间里的危险化学品的安全进行信息化管理的问题。本发明由危险化学品状态探测器、报警控制器、摄像头、远程服务器、数字地图、客户终端构成;在使用时,危险化学品状态探测器通过通信网络与报警控制器完成信息交互;报警控制器通过以太网与远程服务器完成信息交互;远程服务器通过以太网与客户终端完成信息交互;数字地图通过以太网与客户终端完成信息交互;摄像头通过以太网与客户终端完成信息交互。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨工艺的模拟装置

本发明提供了一种化学机械研磨工艺的模拟装置的建立,包括:第一步骤:根据工艺平台下的设计规则,设计线宽对数‑密度矩阵表格,包括线宽对数/密度的取值范围以及线宽对数/密度坐标序列的步径选取;第二步骤:根据线宽对数‑密度矩阵表格中表格交点对应的线宽和密度,设计一系列测试图形;第三步骤:收集各测试图形的化学机械研磨结果数据,直接赋值给对应的各表格交点;第四步骤:基于线性插值的数学方法,对所述线宽对数‑密度矩阵表格中剩余的空白表格交点进行化学机械研磨结果计算并赋值;第五步骤:优化所述线宽对数‑密度矩阵表格交点,保存得到最终模拟装置。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
用于污泥深度脱水工艺泥浆化学调理的在线连续调理反应装置

本实用新型公开了一种用于污泥深度脱水工艺泥浆化学调理的在线连续调理反应装置。它包括电控柜、PLC自动控制系统、箱体、底座、电机、搅拌器、液位计、PH测量仪、污泥浓度计、电磁阀;该在线连续调理反应装置,可以投加三种以下的化学药剂,使药剂分别与泥浆在不同反应区进行连续反应,并可根据液位计、PH测量仪、污泥浓度计的信号反馈,通过PLC自动控制系统实现对液位、药剂投加量和搅拌强度及药剂与泥浆的反应时间的自动控制。该装置可取代传统污泥深度脱水工艺中的土建或钢结构的间歇或半间歇式泥浆调理反应池。该装置可有效节省占地和投资,并使污泥的化学药剂调理实现在线监控和调控,实现污泥深度脱水工艺泥浆调理的连续运行。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
在铝基材料表面进行化学镀镍的前处理方法

本发明公开了一种在铝基材料表面进行化学镀镍的前处理方法。所述方法为:将铝基材料进行碱蚀、酸洗后,采用稀土增强的化学氧化法,在铝基材料表面生成一层化学氧化膜,再经盐酸活化后,直接进行酸性化学镀镍。本发明方法使化学镀镍工艺大大简化,可得到结合牢、均匀、致密、具有催化活性的化学氧化层,不需预电镀镍或预化学镀镍。采用本发明前处理方法得到的镀层均满足ASTM结合力测试标准,从根本上防止了铝合金表面自然氧化膜的再次生成导致结合力差的情况。本发明方法由于中间过渡层不是锌等金属而是一层氧化膜,因而避免了形成原电池及发生电化学腐蚀的问题。本发明方法没有其它离子引入镀液,可防止镀液被毒化,保证了镀液的稳定性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨机台
化学机械研磨机台 1042     
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本实用新型提供一种化学机械研磨机台,包括研磨台、研磨垫、研磨液输送装置、研磨头装置以及研磨头清洗及晶圆装卸单元,所述研磨头装置设置有红外发射器,所述研磨头清洗及晶圆装卸单元设有与红外发射器相对应的所述校准测试用标记,当红外发射器发射的红外光线照射到校准测试用标记上时,研磨头装置与研磨头清洗及晶圆装卸单元对准。通过红外发射器和校准测试用标记点对点的位置校准,非常直观、简便的去校准研磨头装置至研磨头清洗及晶圆装卸单元的位置,可以最大程度的保证研磨头装置至研磨头清洗及晶圆装卸单元的位置不存在偏差,大大提升了化学机械研磨机台的装机与修机效率,从而保证化学机械研磨机台的正常工作以及产品质量。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
微分电化学质谱仪双路进样系统

本发明公开了一种微分电化学质谱仪双路进样系统,包括质谱仪,质谱仪连接单薄层电化学流通池和电池的石英毛细管,所述单薄层电化学流通池包括上池体及与上池体固定一体的下池体,上池体和下池体之间设有阻水透气膜,所述上池体上设有参比电极组件、工作电极组件和辅助电极组件,阻水透气膜的上方形成单薄层电化学池,参比电极组件和辅助电极组件上分别设有进液口和出液口,所述下池体设有气体出口。本发明含有双路进样系统,对于既需要测试电催化又需要测试电池的人来说提供了很大的便利。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
耦合微腔光子分子的生物化学传感器

本发明属传感器技术领域,具体为一种耦合微腔光子分子的生物化学传感器。本器件适合在生物化学领域做有极低探测极限的传感器,分别由熔锥光纤和两个相互耦合在一起的玻璃微泡组成,根据不同浓度的生物化学样品在两耦合微泡中形成的光子分子模式分支间距不同,进而实现生物化学传感器功能,具有结构紧凑,尺寸小,环境无敏感性较好,探测极限低,制作工艺比较简单以及成本低等优点。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于电化学阻抗谱低频区域的锂离子电池端电压估计

本发明公开了一种基于电化学阻抗谱低频区域的锂离子电池端电压估计,包括以下步骤:S1、基于电化学阻抗谱低频区域的原理建立适用于低频阻抗谱辨识的等效电路模型;S2、测定锂离子电池不同SOC区间下的低频阻抗谱;S3、使用步骤S1中的等效电路模型来拟合测试得到的不同SOC下的低频电化学阻抗谱数据,辨识等效电路模型参数;S4、根据辨识的模型参数、动态工况中开路电压Vocv,负载电流IL以及采样时间间隔T,估计锂离子电池的端电压UL。本发明实现运用电化学阻抗谱低频区域进行参数辨识完成对电池端电压的估计,本方法相对于传统方法模型辨识参数少,能够有效减少锂离子电池电化学阻抗谱实验的时间,且精度较高,对硬件的要求较低,具有很高的实用价值。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
采用电化学方法评估PATP-Au-MTI/AAO异质结膜的方法

本发明公开了一种采用电化学方法评估PATP‑Au‑MTI/AAO异质结膜的方法,包括以下步骤:(1)制备PATP‑Au‑MTI/AAO异质结膜;(2)将PATP‑Au‑MTI/AAO异质结膜安装在双电导池之间,进行测试;(3)在紫外光下光照,得到光照后的对硝基苯硫酚修饰的纳米通道,进行测试;(4)将光照后的对硝基苯硫酚修饰的纳米通道浸泡在NaBH4水溶液中,得到PATP‑Au‑MTI/AAO纳米通道,进行测试;(5)采用皮安计和一对Ag/AgCl电极进行电化学性能测试,根据电流大小评估PATP‑Au‑MTI/AAO复合膜的光门控性能。本发明通过电化学方法对光门控调节离子运输能力进行测定,根据电流大小评估PATP‑Au‑MTI/AAO复合膜的光门控性能,采取自制双电导池来安装异质结膜,能够保持PATP‑Au‑MTI/AAO异质结膜稳定性,从而完成整个测试过程。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
电化学传感器电极
电化学传感器电极 636     
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本实用新型记载了一种电化学传感器电极,所述电化学传感器电极包括:基板,所述基板的上表面设置有接触反应区和绝缘层区,且该绝缘层区包围所述接触反应区;厚膜绝缘层,所述厚膜绝缘层覆盖位于所述绝缘层区中所述基板的上表面,以与位于所述接触反应区中的基板构成一凹槽集流结构;其中,位于所述接触反应区中基板的表面还设置有互不接触的参比电极、工作电极和辅助电极。本实用新型公开的电化学传感器电极结构,利用电极接触反应区外侧具有一定高度的绝缘保护层,使电极的接触反应区形成碗型集流结构,克服了目前的平面型电极容易使微容量的被测溶液流失的缺陷,提高了此类电化学传感器的测试精度,减少溶液污染。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学洗消训练装置
化学洗消训练装置 724     
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一种化学洗消训练装置,在其特有的实践应用背景技术的融合前提下,设置在厢型车上,包括方舱,方舱内部空间分隔为机房、第一室和第二室,机房设置在临近厢型车车头一端,第二室设置在临近厢型车车尾一端,第一室设置在中间;在机房内安装有发电机;在第一室内设置有侦检分类台、侦检控制台、水箱、洗消水药剂均混装置、洗涤剂储存箱、洗衣机、烘干机、泡沫机、冷水机和热水机;在第二室内设置有防护装具冲洗台、水带冲洗台、防护服衣架、战斗服衣架和烘干发生器。采用本发明的化学洗消训练装置,可大批量、快速地将防护装具洗消干净,并为训练洗消人员提供训练场所和训练条件。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
获取电化学沉积产物力学性能的方法

本发明获取电化学沉积产物力学性能的方法主要包括以下步骤:电化学沉积修复前,进行混凝土结构静态力学参数计算;测量待修复混凝土结构的纵向波速和剪切波速;经过电化学沉积修复后,测量修复后混凝土结构的纵向波速和剪切波速;进行修复后混凝土结构静态力学参数计算。本发明能够确保在不破坏沉积物原始状态的情况下,对电化学沉积产物的力学性能进行测量,且不破坏修复混凝土结构。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备

本发明涉及一种双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备,是非晶硅薄膜太阳能电池的规模化生产中一种核心工艺设备,所述双腔交替式非晶硅光伏薄膜化学气相沉积设备包括真空镀膜机。该真空镀膜机设有两个真空腔体,每个真空腔体设有一到多个电极盒,每个电极盒可放置多片玻璃,所述两个真空腔体共用真空获得/压力测量系统,工艺气体/流量控制系统,射频电源/匹配器系统,并通过中心控制系统在时间上控制两真空腔体的化学气相沉积为交替工作过程,该设备大幅度地提高了非晶硅薄膜太阳能电池量产过程中的设备可靠性,提高了该高质量低速沉积工艺技术的产量,能够有效降低生产成本。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨工艺的优化方法

本发明公开了一种化学机械研磨工艺的优化方法,该方法包括:A、提供一实验样品,并按照当前的化学机械研磨CMP工艺参数对实验样品进行CMP工艺后,采用等离子体增强化学气相沉积PE-CVD工艺在实验样品表面形成氮化硅SiN;B、采用离子束沉积工艺在SiN的表面形成金属钨,然后按照冠状方向对实验样品进行切割,并获取实验样品的纵截面;C、采用透射电子显微镜TEM测量实验样品的纵截面中实验样品的参数,如果实验样品的参数不满足工艺标准,则调整当前的CMP工艺参数,并执行步骤A;如果实验样品的参数满足工艺标准,则结束流程。采用该方法能够对CMP工艺进行优化。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
船载电化学海砂除氯淡化系统

本发明公开了一种船载电化学海砂除氯淡化系统,将船只货仓涂刷绝缘涂料后加装阴阳电极改造成电化学除氯反应池,将船只水仓加装阴阳电极后改造成电化学水处理系统,水仓与货仓之间设置净水装置;在电化学除氯反应池及电化学水处理系统中设置探测氯离子含量的氯离子传感器;在电化学除氯反应池及电化学水处理系统之间设置可启闭的水通道,经净水装置处理过的水注入除氯反应池,形成水仓‑反应池循环系统,使海砂直接在运输船上完成除氯淡化。本发明将海砂从海上吸砂平台装船后在运输过程中完成净化,达到目的港即可卸下合格净化海砂;工作效果好,操作方便。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学气相沉积法制备棒球棒状硫化亚铜纳米线的方法

本发明提供了一种化学气相沉积法制备棒球棒状硫化亚铜纳米线的方法,先将氧化亚铜和硫粉分别放置在化学气相沉积装置的高温区和低温区位置,将SiO2/Si基底叠放平放在铜源上方,封闭石英管中的两端;在石英管中通入保护气体5‑10分钟进行排空,打开管式炉加热开关,同时将低温区升温至300℃,高温区升温至700‑800℃,保温10‑20分钟,关闭加热,冷却至室温,即可在SiO2/Si基底上获得尺寸均一的Cu2S纳米线。本发明制备的棒球棒状Cu2S纳米线具有多级结构,Cu2S棒球棒状由一球状和较长锥柱状的Cu2S纳米线组成,制备出的纳米线形貌均匀,可以应用于光电探测器、锂离子电池和光催化材料等领域。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学实验教具及一种硫酸脱水性的验证实验方法

本发明涉及化学化工基础理论研究及基础应用领域,具体涉及一种化学实验教具及一种硫酸脱水性的验证实验方法。该教具包括注射器、广口瓶和试管,所述广口瓶通过其瓶口塞有的双孔塞的一个孔连通有U型玻璃管;所述试管穿越所述广口瓶上双孔塞的另一个孔插入所述广口瓶内,所述试管瓶口塞有的双孔塞中分别插有分液漏斗和一根玻璃导管,所述玻璃导管连接有至少一个洗气检气装置,所述注射器的针头穿越所述试管上双孔塞伸入所述试管内。其优点是:在封闭的实验器皿中进行,并对于最后的尾气进行洗气,无有害气体排出,符合绿色化学的理念;材料易得;实验反应物用量减少、可反复操作,而且可保证实验成功率;可对于实验反应产物和热效应及时验证。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
排压装置及带排压装置的化学药品储存装置

本实用新型公开了一种排压装置,该排压装置包括压力测量仪、阀控制器以及第一充气阀,当所述压力测量仪测量的压力过大时,所述阀控制器控制所述第一充气阀打开,从而排出密闭容器内的气体或液体,降低密闭容器内的压力,避免其因压力过大而爆炸;同时,本实用新型还提供一种带排压装置的化学药品储存装置,该化学药品储存装置包括所述排压装置,从而避免储存的化学药品分解产生气体,导致化学罐内气压过大而造成化学罐爆炸,提高了化学药品储存装置的安全性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于凝胶电化学加工的肋化内冷却结构冷却管的制备方法

本发明涉及一种基于凝胶电化学加工冷却管的肋化内冷却结构冷却管的制备方法。具体方法为:预处理,包括管道内部的探伤,以及表面的清洁处理。对于惰性金属在完成清洗处理之后,应该进行活化处理;加工阶段,主要包括装置平台搭建与电化学加工阶段,在加工过程中可以自助选择手动加工与自动加工,提高加工效率;后处理阶段,主要包括检验和后清洗,实验采用纯洁清水进行清洗。本发明拟采用将包含NaNO3的凝胶电解质制备成肋形状,选择性的包裹加工电极作为阴极,将加工件作为阳极,进行电化学加工。特别适用于传统管道内壁的肋化内冷却结构的加工,反应区域有凝胶电解质的接触与否控制,不会对管道的其他结构造成影响,实现管道内壁的肋化冷却结构的制造,提高散射通道的冷却性能。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于微区电化学系统的薄液膜下样品腐蚀数据采集装置及方法

本发明提供一种基于微区电化学系统的薄液膜下样品腐蚀数据采集装置及方法,所述装置由微区电化学工作台、微区样品池、XYZ三维移动平台、探针、工作电极、放大镜、人机终端、万用表组成。本发明主要特点是在微区系统下精准实现薄液膜厚度的设定,并连续快速测量该薄液膜厚度下局部腐蚀电化学信息。本发明的有益效果在于:实验装置自动化程度高,实验方法简单,有效地将微区系统下薄液膜厚度的设定与腐蚀信息的监测相结合,缩短测试时间,提高测试效率。本发明装置自动化程度高,操作方便,设备反应灵敏。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
林下参与栽培人参的微量化学鉴别方法

本发明采用常规方法将人参中的挥发油成分提取后,通过GC-MS分析方法应用本发明建立的测试条件,将提取的挥发油成分的GC-MS图谱作为矢量,通过计算机辅助相似性评价系统处理,计算出林下参或园参的相似度值,达到鉴别园参或林下参的目的。采用微量分析方法,能节约资源,有较大的经济效益和社会效益。本发明的方法也可用于人参粉的相关产品的鉴别。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨设备及方法

一种化学机械研磨设备及方法,其中化学机械研磨设备包括:载片台;研磨机构,包括能够沿第二直线方向重复移动的研磨件,第一、二直线方向垂相互垂直;研磨液注入机构,用于向研磨件注入研磨液;研磨清洗机构,与研磨机构沿第一直线方向相对设置;膜厚测量机构,用于测量清洗后的待研磨片厚度。在化学机械研磨过程中,对移动中的待研磨片边研磨、边清洗和边测量。使用本设备,实时测量的研磨后的待研磨片厚度,控制研磨过程中待研磨片的研磨量,确保待研磨片研磨后的厚度为目标厚度,提升产品合格率,减少废片量产生,降低生产成本。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨过程中研磨垫的温度控制系统

本发明公开了一种化学机械研磨过程中研磨垫的温度控制系统,其中,包括温度探测器和空气压缩机温控系统,所述空气压缩机温控系统包括空气压缩机和气体管路,所述空气压缩机和所述气体管路相互连接并形成闭合回路,所述气体管路设在研磨垫和位于研磨垫下方的独立平台之间,还包括主控制器,所述温度探测器、所述空气压缩机温控系统分别与所述主控制器连接。本发明通过控制研磨垫的温度使得晶圆在化学机械研磨制程中的温度得到控制,使抛光液的化学特性比如选择比、去除率等保持在最佳值,延长研磨垫的使用时间,提高晶圆的平坦性和稳定性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
自发光材料用于化学发光Western blot的用途及其组合物

本发明公开了自发光材料的新应用,用于在化学发光蛋白质免疫印迹实验中的X-射线胶片上显示蛋白质分子量标准。本发明还公开了一种含有自发光材料的组合物,包括自发光材料,连接剂和填充剂。以及一种改良了的可以在X-射线胶片上显示蛋白质分子量标准的化学发光Western?blot方法。通过在常规化学发光Western?blot操作过程中,X-ray光片曝光前用本发明试剂涂抹在预染蛋白质分子量标准位置,曝光后就能在X-ray光片上得到清晰的蛋白质分子量标准显影带,达到测量目的蛋白条带的目的,有效的弥补了常规化学发光Western?blot的不足,大大改善了Western?blot技术。广泛适用于科研实验。所使用试剂制备方法,绿色环保、对人体无任何毒害作用。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
基于工程建模的多种化学杀菌剂组合的优化方法

一种基于工程建模的多种化学杀菌剂组合的优化方法,包括如下步骤:A、选择合适的农业病原菌试验体系,并确定两种以上杀菌剂;B、分别测量每种杀菌剂对病原菌的抑制率关于剂量的响应曲线;C、根据所得的响应曲线建立数据驱动模型;D、基于数据驱动模型优化出理想的杀菌剂组合。本发明通过建立病原菌对组合杀菌剂响应的模型,仅需要非常少量的实验次数就能找到最理想的杀菌剂组合,不但提高了抑制病原菌的效率,且相较于同效率的单个杀菌剂作用时的杀菌剂剂量减少,降低了化学杀菌剂使用对环境造成的危害,且由于采用多种杀菌剂联合使用,可以大大降低化学杀菌剂使用一段时间以后产生的耐药性。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
质子交换膜燃料电池中丙醇电化学合成方法

一种质子交换膜燃料电池中丙醇电化学合成方法,利用质子交换膜燃料电池进行丙烯醇电化学合成丙醇与电能共生,将质子交换膜燃料电池接入测试系统并控制电池的温度,阴极反应物泵入前用氮气对阴极室进行预处理,然后对电池进行初始极化,即在阳极通入氢气后接通电路,使阴极室中残余的氧气充分反应。反应时,控制通入阳极室的氢气流量和泵入阴极室的丙烯醇水溶液流量,通过调节可变电阻器控制反应电流,在没有负载的情况下反应1-8小时,可得到不同纯度的产品正丙醇。本发明的质子交换膜燃料电池采用多孔气体扩散三合一膜电极。本发明工艺过程简单,污染小,能耗低,能在合成产品的同时产生电能,对于生产少量高品质化学品,具有重要意义。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
控制化学机械研磨时间的方法及系统

本发明公开了一种控制化学机械研磨时间的方法及系统,该方法应用在对化学机械研磨装置中各个子系统的控制过程中,存储各个子系统研磨当前晶圆的研磨时间段值,该方法还包括:分别测量各个子系统研磨当前晶圆的厚度,分别得到各个子系统研磨当前晶圆的实际厚度值;分别采用研磨当前晶圆的实际厚度值和设置的研磨当前晶圆的目标厚度值的比值计算各个子系统的Q因子值;将各个子系统的Q因子值的平均数作为Q’因子值;将Q’因子值和存储的各个子系统研磨当前晶圆的研磨时间段值之间的乘积分别作为各个子系统研磨下一晶圆的时间段值后,提供给各个子系统执行。本发明提高了控制化学机械研磨时间的效率且比较简单。

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上海 - 上海 来源:中冶有色技术网 2023-03-19
化学机械研磨工艺模型校准验证流程中薄膜厚度引入方法

一种化学机械研磨工艺模型校准验证流程中薄膜厚度引入方法包括:沟槽刻蚀;测量晶片表面相距与晶片表面齐平的物理或化学可辨薄膜表面之间的距离,作为参考沟槽深度;将所测得的参考沟槽深度减去沟槽深度目标值,由此得到参考沟槽底部与可辨薄膜表面的间距;沉积薄膜;测量沉积的薄膜的上表面相距与可辨薄膜表面之间的距离;将所测得的距离减去参考沟槽底部与可辨薄膜表面的间距,由此得到参考沟槽底部与沉积的薄膜的上表面的间距;对沉积的薄膜进行化学机械研磨,以得到减薄薄膜;而且,测量减薄薄膜的上表面相距与可辨薄膜表面之间的距离;将所测得的距离减去参考沟槽底部与可辨薄膜表面的间距,由此得到参考沟槽底部与减薄薄膜的上表面的间距。

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