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控制化学机械研磨时间的方法及系统

828   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:50
本发明公开了一种控制化学机械研磨时间的方法及系统,该方法应用在对化学机械研磨装置中各个子系统的控制过程中,存储各个子系统研磨当前晶圆的研磨时间段值,该方法还包括:分别测量各个子系统研磨当前晶圆的厚度,分别得到各个子系统研磨当前晶圆的实际厚度值;分别采用研磨当前晶圆的实际厚度值和设置的研磨当前晶圆的目标厚度值的比值计算各个子系统的Q因子值;将各个子系统的Q因子值的平均数作为Q’因子值;将Q’因子值和存储的各个子系统研磨当前晶圆的研磨时间段值之间的乘积分别作为各个子系统研磨下一晶圆的时间段值后,提供给各个子系统执行。本发明提高了控制化学机械研磨时间的效率且比较简单。
声明：
“控制化学机械研磨时间的方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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